石墨烯受力后變形可以產(chǎn)生壓阻效應(yīng),利用這個原理,制作石墨烯微壓傳感器。但是在實驗中,發(fā)現(xiàn)石墨烯會產(chǎn)生諸多缺陷,進而影響石墨烯的壓阻效應(yīng)。因此,該文采用拉曼確認(rèn)轉(zhuǎn)移后Si_O2基底上雙層石墨烯的褶皺形成和缺陷形成很少。同時,采用XPS確定石墨烯在制作傳感器過程中表面的有N、O等污染原子吸附。AFM表面圖像發(fā)現(xiàn)轉(zhuǎn)移后的表面很平整。并采用MEMS工藝完成石墨烯微壓傳感器的制作,利用3D打印的腔體完成傳感器的封裝,通過氣體微亞泵對傳感器施加壓力,得到壓力測量量程在0～3 kPa,電阻溫度系數(shù)極低。該研究可為石墨烯作為壓阻傳感器提供更細(xì)致的理論基礎(chǔ)和技術(shù)指導(dǎo)。 

【文章頁數(shù)】：6 頁

【文章目錄】：
0 引言
1 石墨烯的轉(zhuǎn)移與表征
    1.1 石墨烯轉(zhuǎn)移
    1.2 石墨烯Raman光譜分析
    1.3 石墨烯X射線能譜分析
    1.4 石墨烯表面AFM表征
2 結(jié)構(gòu)設(shè)計與仿真
3 工藝流程
    3.1 對微壓傳感器敏感結(jié)構(gòu)進行加工路線設(shè)計并進行加工
    3.2 對微壓傳感器芯片進行封裝測試
4 結(jié)束語



本文編號：3730173