作為一種工作在簡并模態(tài)的陀螺,嵌套環(huán)式MEMS陀螺因其更強(qiáng)的抗沖擊特性、對外界振動更低的敏感性以及更靈活的電極配置等優(yōu)勢被作為一個重要的微機(jī)電陀螺發(fā)展方向。然而,在加工過程中產(chǎn)生的諧振結(jié)構(gòu)不對稱誤差會導(dǎo)致陀螺模態(tài)不匹配,嚴(yán)重限制陀螺的性能。面對批量化生產(chǎn)的諧振器,需要用一種便于實(shí)施的結(jié)構(gòu)誤差辨識方法挑選高品質(zhì)的諧振器加工高性能陀螺。本文分析了剛度軸偏角誤差和電極未對準(zhǔn)誤差對陀螺的影響。然后,提出了基于靜電修調(diào)理論的誤差辨識方法。最后,用三支嵌套環(huán)陀螺完成了辨識實(shí)驗(yàn),證實(shí)了方法的可行性,辨識過程中得到的修調(diào)電壓還可直接用于靜電修調(diào)。

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【文章目錄】：
1 嵌套環(huán)式MEMS陀螺的基本原理
2 誤差影響分析和誤差辨識方法
    2.1 誤差的影響分析
    2.2 誤差辨識方法
3 誤差辨識方案設(shè)計和實(shí)驗(yàn)
    3.1 誤差辨識實(shí)驗(yàn)
    3.2 實(shí)驗(yàn)結(jié)果
4 結(jié)論



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