本文關(guān)鍵詞：基于RF MEMS開(kāi)關(guān)的4位分布式移相器的設(shè)計(jì)

  更多相關(guān)文章： RF MEMS開(kāi)關(guān) 微電子機(jī)械系統(tǒng) Ka波段 移相器

【摘要】：RF MEMS移相器與傳統(tǒng)移相器相比,具有低損耗、頻帶寬、微型化,同時(shí)與IC、MMIC電路易于集成等特點(diǎn),文中設(shè)計(jì)一種Ka波段DMTL型RF MEMS移相器,采用了15個(gè)MEMS電容式并聯(lián)開(kāi)關(guān),同時(shí)在MEMS開(kāi)關(guān)中加入MIM電容,實(shí)現(xiàn)了4位相移。文中對(duì)Ka波段4位RF MEMS移相器進(jìn)行設(shè)計(jì)與分析,通過(guò)MEMS開(kāi)關(guān)的切換實(shí)現(xiàn)信號(hào)延遲通路,0~180°步進(jìn)22.5°的相移功能。通過(guò)改變驅(qū)動(dòng)電壓從而調(diào)整MEMS橋的高度,仿真測(cè)得開(kāi)關(guān)理論下壓電壓為18.9 V。仿真結(jié)果表明在中心頻率31 GHz時(shí),其插入損耗大于-2.2 d B,回波損耗小于-25 d B,相移誤差在1.5°范圍內(nèi),移相器具有較好的移相性能。
【作者單位】： 合肥工業(yè)大學(xué)電子科學(xué)與應(yīng)用物理學(xué)院安徽省MEMS工程技術(shù)研究中心;
【關(guān)鍵詞】： RF MEMS開(kāi)關(guān) 微電子機(jī)械系統(tǒng) Ka波段 移相器
【基金】：國(guó)家863計(jì)劃資助項(xiàng)目(2013AA041101)
【分類(lèi)號(hào)】：TN623
【正文快照】： 0引言微波和毫米波移相器在相控陣天線(xiàn)的電信部件和雷達(dá)中是必不可少的應(yīng)用,隨著近年來(lái)MEMS技術(shù)的發(fā)展,與基于鐵氧體材料,PIN二極管或場(chǎng)效應(yīng)晶體管(FET)開(kāi)關(guān)移相器相比,RF MEMS移相器具有寬頻帶、高線(xiàn)性度、損耗小和超小型化,同時(shí)與IC、MMIC電路易于集成等特點(diǎn),因此RF MEMS移

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中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 李煒,石艷玲,朱自強(qiáng),賴(lài)宗聲;微波MEMS移相器的特性分析與實(shí)現(xiàn)[J];半導(dǎo)體技術(shù);2003年11期

2 婁建忠,趙正平,楊瑞霞,呂苗,胡小東;射頻微機(jī)械移相器[J];半導(dǎo)體技術(shù);2004年10期

3 周英平;劉祖望;王榮博;;新型數(shù)字移相器的設(shè)計(jì)[J];計(jì)算機(jī)工程與設(shè)計(jì);2006年11期

4 黎步銀;龐曉玲;黃兆祥;;向列型液晶移相器[J];電子元件與材料;2007年05期

5 唐愷;吳群;楊國(guó)輝;孫鳳林;傅佳輝;馬偉;;一種新型MEMS移相器設(shè)計(jì)[J];遙測(cè)遙控;2007年05期

6 王道檔;楊甬英;劉東;田超;駱永潔;卓永模;;壓電移相器的空間旋轉(zhuǎn)誤差建模與實(shí)驗(yàn)分析[J];光電子.激光;2009年05期

7 王倡獻(xiàn);熊祥正;肖華清;;一種90°分布式MEMS移相器的設(shè)計(jì)[J];微計(jì)算機(jī)信息;2009年26期

8 趙世巍;唐宗熙;張彪;;一種新型的六位數(shù)字移相器的設(shè)計(jì)[J];電子測(cè)量與儀器學(xué)報(bào);2010年01期

9 劉sチ，

本文編號(hào)：527329