本文關(guān)鍵詞：基于MEMS微鏡的長波近紅外光譜儀的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)

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【摘要】：為適應(yīng)光譜儀微型化、集成化的發(fā)展趨勢,詳細(xì)分析了MEMS微鏡應(yīng)用于微型長波近紅外光譜儀的方法和涉及的主要問題,例如分光系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、MEMS微鏡的選擇、探測器與前置放大電路的設(shè)計(jì)等。并將50Hz諧振頻率、峰峰驅(qū)動(dòng)電壓為10V的MEMS微鏡、高靈敏度的InGaAs單元探測器,結(jié)合立特羅式分光光路,設(shè)計(jì)和實(shí)現(xiàn)了900~2 055nm波段的微型長波近紅外光譜儀樣機(jī),其中1 000~1 965nm譜段的光譜分辨率介于9.4~16nm之間。采用MEMS掃描微鏡技術(shù)后,一方面簡化了光譜儀中的復(fù)雜機(jī)械結(jié)構(gòu),使尺寸可以更小;另一方面實(shí)現(xiàn)了單探測器的長波近紅外光譜儀,與陣列長波近紅外探測器光譜儀相比,成本有所降低。作為應(yīng)用實(shí)例,此樣機(jī)成功對(duì)純水以及乙醇-水溶液的長波近紅外光譜進(jìn)行了測量,實(shí)現(xiàn)了乙醇-水溶液的濃度預(yù)測分析,其中本樣機(jī)測量的純水長波近紅外光譜與文獻(xiàn)相符。
【作者單位】： 江西理工大學(xué)理學(xué)院;南開大學(xué)物理科學(xué)學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： MEMS 微鏡 光譜儀 近紅外 InGaAs
【基金】：人社部2011年高層次留學(xué)人才回國資助項(xiàng)目([2011]481) 江西省教育廳科技項(xiàng)目(GJJ11468)資助
【分類號(hào)】：TH744.1
【正文快照】： 引言光譜儀在冶金、化學(xué)、生物、遙感等領(lǐng)域都有重要的應(yīng)用。無論是通用光譜儀還是專用光譜分析儀,它們的分光系統(tǒng)目前大致有如下幾種:濾光片系統(tǒng)[1]、光柵分光系統(tǒng)[2,3],傅里葉變換系統(tǒng)[4,5],采用AOTF濾光技術(shù)的分光系統(tǒng)[6,7]等。自上世紀(jì)90年代開始,微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)被

【參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 田高友,褚小立,袁洪福,陸婉珍;近紅外光譜儀器主要技術(shù)指標(biāo)與評(píng)價(jià)方法概述[J];現(xiàn)代科學(xué)儀器;2005年04期

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【共引文獻(xiàn)】

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4 蘇雷龍;蔣書波;程明霄;何野;徐波;;基于MEMS微鏡技術(shù)的近紅外光譜儀的研究[J];光譜實(shí)驗(yàn)室;2011年02期

5 韋瑋;黃尚廉;陳偉民;王寧;張潔;朱永;;一種基于MEMS光柵光調(diào)制器的近紅外光譜探測系統(tǒng)[J];光譜學(xué)與光譜分析;2010年03期

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8 施Z赯，

本文編號(hào)：705148