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261. 硅基自屏蔽式MEMS帶通濾波器
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262. 基于MEMS矢量水聽器陣列的測向技術(shù)研究
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263. MEMS陀螺儀隨機(jī)漂移誤差補(bǔ)償技術(shù)的研究
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264. MEMS捷聯(lián)慣導(dǎo)減振系統(tǒng)設(shè)計(jì)方法研究
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265. 參數(shù)激勵(lì)法提高MEMS環(huán)式陀螺性能的研究
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266. 熱失配對MEMS上層芯片變形的影響和測量
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267. 飛法級MEMS電容型傳感器讀出技術(shù)研究
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268. 用于生物超快電鏡的MEMS實(shí)驗(yàn)腔研究
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269. 尺度效應(yīng)下功能梯度MEMS微板力學(xué)特性研究
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270. MEMS捷聯(lián)慣導(dǎo)系統(tǒng)的初始對準(zhǔn)技術(shù)研究
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