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241. 電容式MEMS環(huán)形振動(dòng)陀螺結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及加工
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242. 精密單點(diǎn)定位與MEMS IMU組合導(dǎo)航系統(tǒng)應(yīng)用
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243. 帶邊緣場(chǎng)的分?jǐn)?shù)階MEMS方程的研究
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244. 基于MEMS慣性傳感器的井下人員定位系統(tǒng)
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245. MEMS微橋結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與光刻工藝參數(shù)優(yōu)化
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246. 基于MEMS數(shù)字麥克風(fēng)陣列的聲源定位系統(tǒng)
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247. 基于正交誤差對(duì)準(zhǔn)的MEMS陀螺測(cè)控電路設(shè)計(jì)
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248. 基于MEMS技術(shù)的集成LED微陣列器件研究
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249. MEMS溫度傳感器中ICP刻蝕技術(shù)研究
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250. 盤結(jié)構(gòu)電容式MEMS諧振器相關(guān)性能研究
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