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241. 基于正交誤差對準(zhǔn)的MEMS陀螺測控電路設(shè)計
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242. 基于MEMS技術(shù)的集成LED微陣列器件研究
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243. MEMS溫度傳感器中ICP刻蝕技術(shù)研究
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244. 盤結(jié)構(gòu)電容式MEMS諧振器相關(guān)性能研究
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245. 基于MEMS加速度傳感器的步態(tài)識別
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246. 低功耗MEMS熱式風(fēng)速風(fēng)向傳感器的研究
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247. MEMS系統(tǒng)中微平板結(jié)構(gòu)聲振耦合性能研究
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248. 基于MEMS陀螺儀隨機漂移誤差補償?shù)难芯?
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249. 沖擊環(huán)境下MEMS器件的彈性限位塊設(shè)計（英文）
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250. 基于MEMS傳感技術(shù)的航姿系統(tǒng)算法研究
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