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12. CMP架構(gòu)下的共享Cache動態(tài)劃分

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15. 對比不同特性藍寶石拋光液的CMP性能

16. HfO_x鑲嵌結(jié)構(gòu)的CMP及其機理研究

17. 新型銅互連阻擋層材料Co的CMP研究

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19. 基于CMP集群的并行編程模型的研究與應用

20. 熔石英元件CMP加工表面缺陷去除方法研究