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12. 非晶硅鍺薄膜PECVD法制備與特性研究

13. PECVD法制備非晶硅薄膜及光電性質研究

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15. PECVD系統(tǒng)淀積氮化硅工藝優(yōu)化的實現(xiàn)

16. 基于流—熱—固多場耦合分析的PECVD裝置優(yōu)化設計

17. PECVD氮化硅薄膜性能研究及熱學測試結構設計

18. 廉價襯底上PECVD法制備非晶硅薄膜的工藝研究

19. 非晶硅薄膜晶體管PECVD成膜工藝的優(yōu)化研究

20. PECVD技術在微結構表面沉積薄膜的復形性