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131. 基于MEMS傳感器的手勢(shì)識(shí)別算法研究
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132. 基于均勻設(shè)計(jì)的MEMS陀螺溫度標(biāo)定試驗(yàn)設(shè)計(jì)
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133. 可剛性固定MEMS矢量水聽器的設(shè)計(jì)
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134. MEMS慣性器件誤差分析與補(bǔ)償方法研究
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135. MEMS晶圓級(jí)測(cè)試系統(tǒng)現(xiàn)狀及未來(lái)展望
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136. MEMS扭轉(zhuǎn)微鏡溫度效應(yīng)的仿真分析
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137. MEMS溫濕度傳感器集成系統(tǒng)設(shè)計(jì)
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138. MEMS微驅(qū)動(dòng)器的設(shè)計(jì)、工藝及應(yīng)用
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139. 高精度石英全息透鏡的MEMS工藝制作
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140. 三軸數(shù)字MEMS加速度計(jì)現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定方法
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