本文關鍵詞：基于均勻設計的MEMS陀螺溫度標定試驗設計，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：針對傳統的溫度試驗方案存在試驗量大、耗費時間長的問題,提出基于均勻設計法的三軸微電子機械系統(micro-electromechanical systems,MEMS)陀螺溫度標定誤差補償試驗方案。設計基于均勻設計的四因素(測試溫度點、溫變速率、MEMS陀螺轉速及轉動方向)試驗方案。首先,構造試驗所需的均勻設計表;其次,根據LP-偏差確定MEMS陀螺溫度標定誤差補償實驗的最佳試驗方案;最后,搭建出MEMS陀螺溫度標定的實驗裝置進行測試。試驗結果表明:與將每一個因素的不同水平組合的全面設計方案相比,該試驗方案不僅節(jié)省12.5%的試驗時間,還進一步減少MEMS陀螺溫度標定誤差試驗量,縮短研究周期,節(jié)約試驗成本。
【作者單位】： 北京航空航天大學慣性技術重點試驗室;
【關鍵詞】： MEMS陀螺 均勻設計法 溫度 標定誤差補償
【分類號】：TN96
【正文快照】： 0引言由于MEMS陀螺主要是用對溫度敏感的熱敏硅材料制成的硅微機械陀螺儀[1],MEMS陀螺精度及穩(wěn)定度受溫度影響較大。為減小溫度對MEMS陀螺精度的影響,通常對MEMS陀螺進行溫度標定誤差補償。Jacques[2],Gu[3],Rade等[4]提出了關于溫度補償模型的原理,Gaiffe[5]采用慣性器件溫度

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