本文關(guān)鍵詞：可剛性固定MEMS矢量水聽器的設(shè)計，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：針對傳統(tǒng)矢量水聽器在實際應(yīng)用中需要輔助彈性懸掛,不便于工程應(yīng)用的問題,設(shè)計并制造了一種具有低加速度靈敏度可剛性固定的差分型MEMS矢量水聽器。介紹了該水聽器的工作原理,制作了試驗樣機。搭建實驗平臺對樣機進行測試,結(jié)果表明:500 Hz時聲壓靈敏度為-185 dB(0dB參考值1 V/μPa),頻帶內(nèi)指向性凹點深度大于30 dB,加速度靈敏度相對于普通型矢量水聽器下降20 dB(0dB參考值1 V/g)。理論與實驗證明該差分型MEMS矢量水聽器可以實現(xiàn)剛性固定的目的,具有廣泛的工程應(yīng)用前景。
【作者單位】： 中北大學(xué)電子測試技術(shù)重點實驗室;中北大學(xué)儀器科學(xué)與動態(tài)測試教育部重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 微電子機械系統(tǒng)(MEMS) 矢量水聽器 差分結(jié)構(gòu) 剛性固定型 加速度靈敏度
【基金】：國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃(863計劃)資助項目(2013AA09A414) 國家自然科學(xué)基金資助項目(61127008;51205374) 山西省青年科技研究基金資助項目(2012021013-3)
【分類號】：TB565.1
【正文快照】： 0引言矢量水聽器在水下聲學(xué)接收系統(tǒng)中占有重要地位[1],目前主要包括壓差式和同振式兩種,前者由于指向精度不高,因此其在水聲領(lǐng)域的應(yīng)用并不廣泛[2]。同振式矢量水聽器主要通過測量加速度的方式對水聲信號進行測試[3],實際應(yīng)用中對工作平臺的振動十分敏感,因此在使用中需要彈

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  本文關(guān)鍵詞：可剛性固定MEMS矢量水聽器的設(shè)計，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

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本文編號：507068