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111. 基于MEMS輔助的顯示與LCD工藝
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112. MEMS慣性測(cè)量單元設(shè)計(jì)與相關(guān)技術(shù)研究
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113. 一種引信用MEMS接電開(kāi)關(guān)設(shè)計(jì)
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114. MEMS地震檢波器測(cè)試方法研究
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115. MEMS數(shù)字檢波器設(shè)計(jì)與性能研究
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116. CPT原子鐘MEMS氣室工藝研究
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117. 振動(dòng)環(huán)境下MEMS陀螺動(dòng)態(tài)誤差補(bǔ)償方法
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118. BDS/MEMS融合測(cè)姿算法研究
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119. MEMS數(shù)字陀螺儀測(cè)試系統(tǒng)設(shè)計(jì)
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120. 表面工藝靜電驅(qū)動(dòng)MEMS變形鏡關(guān)鍵技術(shù)研究
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