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111. MEMS地震檢波器測試方法研究
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112. MEMS數(shù)字檢波器設(shè)計(jì)與性能研究
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113. CPT原子鐘MEMS氣室工藝研究
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114. 振動(dòng)環(huán)境下MEMS陀螺動(dòng)態(tài)誤差補(bǔ)償方法
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115. BDS/MEMS融合測姿算法研究
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116. MEMS數(shù)字陀螺儀測試系統(tǒng)設(shè)計(jì)
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117. 表面工藝靜電驅(qū)動(dòng)MEMS變形鏡關(guān)鍵技術(shù)研究
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118. MEMS穿孔板微執(zhí)行器Pull
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119. 基于電熱驅(qū)動(dòng)的MEMS繼電器的研制
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120. MEMS陀螺儀組合系統(tǒng)及濾波算法設(shè)計(jì)
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