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101. MEMS振蕩器的頻率穩(wěn)定技術(shù)研究
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102. 太赫茲倍頻及MEMS濾波技術(shù)研究
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103. 基于MEMS技術(shù)的納米孔研究及其應(yīng)用
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104. MEMS陀螺中16位數(shù)模轉(zhuǎn)換器設(shè)計(jì)
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105. MEMS垂直探針的設(shè)計(jì)和加工技術(shù)研究
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106. MEMS慣性/地磁組合測(cè)姿技術(shù)研究
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107. MEMS慣性測(cè)量單元測(cè)試標(biāo)定方法研究
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108. 室內(nèi)BLE/MEMS跨樓層融合定位算法
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109. 反鐵電式MEMS薄膜驅(qū)動(dòng)器研究
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110. 一種集成數(shù)字化MEMS組件設(shè)計(jì)
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