MEMS振蕩器的頻率穩(wěn)定技術(shù)研究
【學位授予單位】：電子科技大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2018
【分類號】：TN752
【圖文】：
電子科技大學碩士學位論文展動態(tài)展動態(tài)8 年就開始了 MEMS 諧振器以及振蕩器的研究，省理工學院、Northrop Grumman 公司、ADI 公司撐梁、自由梁、圓環(huán)、方塊諧振器等[10-14]。Nguyen 團隊是研究 MEMS 電容式諧振器最具有引，他們提出并建立了固定支撐梁諧振器的等效機路的電氣模型，研究了固定支撐梁、自由梁、圓，加工制作了諧振器的實物樣品，并且還設(shè)計制圖 1-1 所示為 Nguyen 團隊研制的全單片 CMOS 鎳為 10.92MHz，其相位噪聲為-95dBc/Hz@10kHz[1
圖 1-2 具有微型加熱器的振蕩器[23]本文的工作安排文主要工作是壓電式MEMS諧振器的研究和MEMS振蕩器設(shè)計以及其是對 MEMS 振蕩器的頻率溫度穩(wěn)定性研究。一章主要敘述了 MEMS 振蕩器的發(fā)展背景及意義和國內(nèi)外的進展。二章研究 MEMS 諧振器的設(shè)計以及等效電路模型的建立。對 MEMS和MEMS壓電式諧振器的工作原理進行研究以及Q值、插損等性能的目標頻率在 100MHz 的 MEMS 壓電式諧振器。研究了諧振器振動模 值的提高，錨點損耗降低等，研究諧振器的加工工藝流程，完成實續(xù)測試。三章主要是振蕩器的理論研究以及性能的優(yōu)化。具體內(nèi)容有振蕩器，電路設(shè)計仿真，相位噪聲研究，電路制作，振蕩器頻率穩(wěn)定性的。
圓盤結(jié)構(gòu)諧振器的簡單示意圖
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