發(fā)布時(shí)間：2021-02-20 04:00

　　隨著微機(jī)械系統(tǒng)的發(fā)展和集成電路制造工藝的快速進(jìn)步,微慣性技術(shù)在導(dǎo)航學(xué)科中占據(jù)了越來越重要的地位。微慣性測量單元借助于自身成本低、體積小、自主性強(qiáng)等優(yōu)勢,在軍民用導(dǎo)航領(lǐng)域都發(fā)揮著越來越重要的作用。因此,國內(nèi)外許多科研和教育單位都更加重視微慣性系統(tǒng)的開發(fā)與應(yīng)用。然而,目前常見的MEMS慣性測量單元的測量精度都相對比較低,現(xiàn)今著重研究如何合理利用科學(xué)方法來提升MEMS慣性測量單元的精度有著極其重大的意義。設(shè)計(jì)制造測試標(biāo)定設(shè)備,建立MEMS慣性測量單元正確的數(shù)學(xué)模型,設(shè)計(jì)更加簡捷快速的標(biāo)定測試方法,是提高M(jìn)EMS慣性測量單元精度的重要途徑,本文主要針對實(shí)驗(yàn)室自制的MEMS慣性測量單元展開誤差建模和標(biāo)定技術(shù)研究。首先,根據(jù)MEMS慣性測量單元的標(biāo)定測試需求從機(jī)械結(jié)構(gòu)、軟硬件設(shè)計(jì)等各方面詳細(xì)介紹了實(shí)驗(yàn)室自制的標(biāo)定測試設(shè)備。其次,分析了MEMS慣性測量單元的誤差特性,詳細(xì)介紹了各個(gè)誤差參數(shù)對MEMS慣性測量單元的影響。針對隨機(jī)噪聲對MEMS慣性測量單元精度影響較大的實(shí)際情況,采用Allan方差法定量分析了MEMS陀螺儀的五種主要噪聲。然后,根據(jù)MEMS慣性測量單元的特點(diǎn),分別建立了MEMS陀螺儀和加... 

【文章來源】：中北大學(xué)山西省

【文章頁數(shù)】：87 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

MEMS慣性測量單元的應(yīng)用

可以連續(xù)輸出慣性信息，并且在工作過程中具有良好的隱蔽性[1-5]。這其在現(xiàn)代導(dǎo)航領(lǐng)域的應(yīng)用變得越來越廣泛，如圖 1.1 所示。圖 1.1 MEMS 慣性測量單元的應(yīng)用聯(lián)慣導(dǎo)系統(tǒng)是將 MEMS 陀螺儀和加速度計(jì)直接固聯(lián)在運(yùn)動(dòng)載體上的一航技術(shù)，通過計(jì)算機(jī)的控制完成慣性平臺(tái)的相關(guān)功能，具有體積小、重于維護(hù)等優(yōu)勢，目前已廣泛應(yīng)用于軍用飛機(jī)、導(dǎo)彈、潛艇、戰(zhàn)車等運(yùn)載[6-9]。隨著微電子機(jī)械系統(tǒng)技術(shù)的不斷發(fā)展與微慣性技術(shù)領(lǐng)域的巨大需求S 慣性測量單元得到了飛速發(fā)展，如圖 1.2 所示為近年來我國各單位自主EMS 慣性測量單元。

中北大學(xué)學(xué)位論文定設(shè)備測試標(biāo)定設(shè)備是 MEMS 慣性測量單元后期標(biāo)定的先決條件。對 MEMS 陀螺儀和加速度計(jì)進(jìn)行誤差度測試設(shè)備的輔助。我國各個(gè)科研機(jī)構(gòu)研發(fā)的具有3 為北京航空精密機(jī)械研究所研制的 SGT-320E 型T-320E 型三軸多功能轉(zhuǎn)臺(tái)主要由機(jī)械臺(tái)體與測控 U-O-O 結(jié)構(gòu)形式和精密機(jī)械軸系，具有高剛度臺(tái)頻搖擺運(yùn)動(dòng)和仿真功能，可為被測單元提供精準(zhǔn)速率基準(zhǔn)，用于慣性元部件、慣導(dǎo)系統(tǒng)的靜態(tài)測試

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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[8]MEMS電容加速度傳感器讀出電路中的低通濾波器的研究設(shè)計(jì)[D]. 文毅賢.西安電子科技大學(xué) 2009
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本文編號：3042191