隨著微機電慣性器件（MEMS）精度和性能的不斷提高,以及慣性、組合導(dǎo)航算法的不斷創(chuàng)新和改進,MEMS系統(tǒng)的精度和性能得到逐步的提升,獲得越來越廣泛的應(yīng)用。文章主要研究內(nèi)容為從工程實際出發(fā),重點研究某型用于飛行控制系統(tǒng)的MEMS組件的高度集成化、一體化、小型化設(shè)計方法;該組件可提供數(shù)字化三軸角速率、加速度及姿態(tài)信息,優(yōu)化了數(shù)字信號處理,進行數(shù)字濾波器設(shè)計,實現(xiàn)帶寬配置,開展了MEMS組件動態(tài)特性試驗,建立相應(yīng)傳遞函數(shù)模型,試驗證明組件滿足高精度、高動態(tài)特性的使用需求。 

【文章來源】：科技創(chuàng)新與應(yīng)用. 2020,(11)

【文章頁數(shù)】：3 頁

【部分圖文】：

測試架構(gòu)

頻率響應(yīng)結(jié)果圖


本文編號：3243801