一種集成數(shù)字化MEMS組件設(shè)計(jì)
發(fā)布時(shí)間:2021-06-23 00:03
隨著微機(jī)電慣性器件(MEMS)精度和性能的不斷提高,以及慣性、組合導(dǎo)航算法的不斷創(chuàng)新和改進(jìn),MEMS系統(tǒng)的精度和性能得到逐步的提升,獲得越來(lái)越廣泛的應(yīng)用。文章主要研究?jī)?nèi)容為從工程實(shí)際出發(fā),重點(diǎn)研究某型用于飛行控制系統(tǒng)的MEMS組件的高度集成化、一體化、小型化設(shè)計(jì)方法;該組件可提供數(shù)字化三軸角速率、加速度及姿態(tài)信息,優(yōu)化了數(shù)字信號(hào)處理,進(jìn)行數(shù)字濾波器設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)帶寬配置,開(kāi)展了MEMS組件動(dòng)態(tài)特性試驗(yàn),建立相應(yīng)傳遞函數(shù)模型,試驗(yàn)證明組件滿(mǎn)足高精度、高動(dòng)態(tài)特性的使用需求。
【文章來(lái)源】:科技創(chuàng)新與應(yīng)用. 2020,(11)
【文章頁(yè)數(shù)】:3 頁(yè)
【部分圖文】:
測(cè)試架構(gòu)
頻率響應(yīng)結(jié)果圖
本文編號(hào):3243801
【文章來(lái)源】:科技創(chuàng)新與應(yīng)用. 2020,(11)
【文章頁(yè)數(shù)】:3 頁(yè)
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測(cè)試架構(gòu)
頻率響應(yīng)結(jié)果圖
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