隨著現(xiàn)代計(jì)量光學(xué)的深入發(fā)展以及在微米和亞微米尺度研究的微小光學(xué)逐漸成熟,越來(lái)越多的學(xué)者利用光學(xué)器件、光學(xué)原理以及光學(xué)效應(yīng)的來(lái)進(jìn)行微小角度測(cè)量的研究。同時(shí),對(duì)于微小角度測(cè)量的精確度、遠(yuǎn)距離、簡(jiǎn)潔度以及測(cè)量的時(shí)實(shí)性等要求越來(lái)越高。微光學(xué)器件,由光的傳播方式的不同,可以分為折射光學(xué)器件和衍射光學(xué)器件。如,變折射率平面微透鏡陣列是屬于折射型光學(xué)器件,二元光學(xué)器件是衍射型光學(xué)器件�，F(xiàn)如今光學(xué)精密器件的制作工藝也日益完善,比如折射型光學(xué)器件的平面微透鏡陣列,采用的光刻離子交換制作工藝也日驅(qū)成熟。在這個(gè)日新月異、高速發(fā)展的信息化時(shí)代,微光學(xué)元件的應(yīng)用發(fā)揮著舉足輕重的作用。目前,微光學(xué)器件在光學(xué)測(cè)量、光學(xué)計(jì)算、光通信、光束整形、光學(xué)成像特性、光通信等方面有著不可估量的作用。微小旋轉(zhuǎn)角度的測(cè)量目前廣泛應(yīng)用于導(dǎo)彈跟蹤、衛(wèi)星測(cè)量、傳感與檢測(cè)、機(jī)器人應(yīng)用、船艦追蹤、無(wú)人機(jī)跟蹤、數(shù)控機(jī)床等航天航空、航海、醫(yī)療等多個(gè)領(lǐng)域。但是,目前的微小角度測(cè)量技術(shù)存在測(cè)量結(jié)果精確度不高、測(cè)量方法復(fù)雜、測(cè)量數(shù)據(jù)不易處理、測(cè)量的時(shí)效性不強(qiáng)等缺點(diǎn)。因此,急需要尋找一種簡(jiǎn)單、高效、精確的測(cè)量技術(shù)。微小旋轉(zhuǎn)角度由于角度較小,沒有特定的取...

【文章頁(yè)數(shù)】：60 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
第1章 緒論
    1.1 微小光學(xué)的發(fā)展概述
    1.2 二元光學(xué)理論
    1.3 變折射率微光學(xué)
        1.3.1 離子交換術(shù)
        1.3.2 光刻技術(shù)
        1.3.3 蝕刻技術(shù)
        1.3.4 直寫技術(shù)
    1.4 微小光學(xué)元件的復(fù)制技術(shù)
    1.5 陣列光學(xué)的理論
    1.6 微小角度的常用測(cè)量方法
    1.7 本文主要研究?jī)?nèi)容及意義
第2章 二維柵格泰伯效應(yīng)及莫爾條紋
    2.1 衍射光柵
    2.2 光柵的衍射理論
    2.3 光柵的泰伯效應(yīng)
        2.3.1 透射光柵泰伯效應(yīng)
        2.3.2 矩形光柵的泰伯效應(yīng)
    2.4 光柵的莫爾條紋
        2.4.1 兩種不同的莫爾條紋
        2.4.2 莫爾條紋的三種成像原理
        2.4.3 莫爾條紋的應(yīng)用
        2.4.4 光柵疊柵條紋的分布
    2.5 本章小結(jié)
第3章 基于二維柵格泰伯—莫爾效應(yīng)微小角度的研究
    3.1 二維光柵產(chǎn)生的菲涅洱衍射——泰伯效應(yīng)
    3.2 二維光柵的疊柵條紋
    3.3 光學(xué)原理的微小角度測(cè)量
    3.4 二維柵格泰伯效應(yīng)分析
    3.5 二維柵格莫爾條紋分析
    3.6 二維光柵微小角度的測(cè)量原理
    3.7 實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證以及數(shù)據(jù)分析
    3.8 實(shí)驗(yàn)結(jié)論
第4章 結(jié)束語(yǔ)
    4.1 主要內(nèi)容回顧
    4.2 本文的不足之處
    4.3 后期展望
參考文獻(xiàn)
致謝
攻讀碩士期間工作情況



本文編號(hào)：3963132