【摘要】：光學(xué)市場(chǎng)正處在蓬勃發(fā)展期,光學(xué)元件在我們生活和生產(chǎn)中的應(yīng)用變得日益廣泛,不僅用于光學(xué)工程領(lǐng)域,也被廣泛地應(yīng)用于微電子技術(shù)、通訊、宇航工程等各種不同的領(lǐng)域。光學(xué)元件的制造與檢測(cè)密不可分,在眾多檢測(cè)方法中,干涉法檢測(cè)光學(xué)元件參數(shù)和質(zhì)量具有精度高、非接觸及操作便捷等優(yōu)點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于快速測(cè)量及高精度檢測(cè)中。本文利用白光相干長(zhǎng)度短的特點(diǎn),結(jié)合邁克耳孫干涉儀的使用,對(duì)薄玻璃厚度一致性進(jìn)行了檢測(cè)研究,實(shí)驗(yàn)中只在干涉儀的單一光路同時(shí)插入材料相同的兩薄玻璃片,對(duì)比白光通過兩薄玻璃片產(chǎn)生的干涉圖樣,判斷其厚度是否一致,對(duì)相差較大的進(jìn)一步測(cè)出厚度差值,檢測(cè)方法方便快捷且精度得到提高�；诠飧缮胬碚�,對(duì)應(yīng)用計(jì)算全息圖(CGH)檢測(cè)凹非球面的方法進(jìn)行了改進(jìn)研究,將計(jì)算全息圖與傳統(tǒng)光學(xué)補(bǔ)償鏡相結(jié)合來對(duì)凹非球面進(jìn)行檢測(cè),簡(jiǎn)化了補(bǔ)償系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)。借助光學(xué)設(shè)計(jì)軟件Zemax,給出了設(shè)計(jì)實(shí)例及相應(yīng)結(jié)果,相比傳統(tǒng)的補(bǔ)償系統(tǒng),這種只需要一個(gè)帶有全息圖的補(bǔ)償鏡即可實(shí)現(xiàn)對(duì)凹非球面的檢測(cè),在保證高精度測(cè)量的同時(shí)降低了檢測(cè)成本,縮短了檢測(cè)周期。對(duì)薄玻璃厚度一致性的檢測(cè)和大口徑非球面面形的檢測(cè)都是基于光干涉原理,通過比較干涉結(jié)果實(shí)現(xiàn)對(duì)光學(xué)元件質(zhì)量的評(píng)定。經(jīng)過與其他實(shí)驗(yàn)方法作對(duì)比,可以看到利用光干涉法檢測(cè)薄玻璃厚度一致性和非球面面形不僅達(dá)到了高精度、非接觸的檢測(cè)效果,而且優(yōu)化了檢測(cè)系統(tǒng)結(jié)構(gòu),節(jié)約了檢測(cè)時(shí)間和相關(guān)費(fèi)用。
【學(xué)位授予單位】：東北師范大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2018
【分類號(hào)】：O436.1
【圖文】：

圖 1.1 分波前干涉裝置圖波前干涉的典型裝置—楊氏雙縫干涉，其中 S1和 S2作為的，具有相同的相位和頻率且振動(dòng)方向一致，滿足相干干涉即可得到干涉圖樣。假定光源 S1、S2在觀察點(diǎn) P 相為，= cos + = cos += cos + = cos +零，相位差有，)22211Δ =（n r nrλπ 2211ΔL =nr nr

πλπ()（2 1）221r r=j+2(21)21λΔL =r r=j+xjπ='決定，即 =λdDxj'j，暗紋中心位置為 x…等。雙縫干涉如果兩光源強(qiáng)度不相等，對(duì)干涉光的透過率不同，則干涉條紋的對(duì)比度會(huì)下降射和透射分離出兩束相干光，從而將入射光振形式有兩種，分別是等傾干涉和等厚干涉。不，同一傾角的光會(huì)形成同一條干涉條紋，不同，這種干涉為等傾干涉，其示意圖如圖 1.2 所

2cos2ihAB + BC=121AD = ACsin i=2htanisini212122δ =2 h n nsini22sin212122λδ = h n ni±涉的入射角相同時(shí)，對(duì)應(yīng)的光程差相等，此時(shí)為樣是明暗相間的同心圓環(huán)。

【參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：2745002