【摘要】：利用離子束濺射沉積制備了光學(xué)薄膜�；跈E圓偏振測(cè)量技術(shù),研究了折射率、膜層厚度和表面層厚度與測(cè)試光斑大小的關(guān)系。研究結(jié)果表明,隨著樣品表面測(cè)試光斑尺寸的增加,薄膜折射率變小,膜層厚度、表面層厚度增加。使用反射光譜法和輪廓儀分別驗(yàn)證了各光學(xué)常數(shù)的光斑效應(yīng)。研究結(jié)果表明,光學(xué)薄膜的折射率與膜層厚度具有弱橫向非均勻性,采用大尺寸測(cè)量光斑能弱化這種非均勻性。
[Abstract]:Optical thin films were prepared by ion beam sputtering deposition. Based on elliptical polarization measurement, the relationship between refractive index, thickness of film and thickness of surface layer is studied. The results show that the refractive index of the film becomes smaller, the thickness of the film and the thickness of the surface layer increase with the increase of the size of the measured spot on the surface of the sample. The speckle effect of each optical constant is verified by reflectance spectroscopy and profilometer respectively. The results show that the refractive index and the thickness of the film are weakly transversal inhomogeneity, and the large size measurement of the spot can weaken the inhomogeneity.
【作者單位】： 中國(guó)航天科工飛航技術(shù)研究院天津津航技術(shù)物理研究所天津市薄膜光學(xué)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;哈爾濱工業(yè)大學(xué)光電子技術(shù)研究所可調(diào)諧激光技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國(guó)航天科工集團(tuán)公司深圳航天工業(yè)技術(shù)研究院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(61405145,61235011) 中國(guó)博士后科學(xué)基金(2014 M560104,2015T80115) 天津市自然科學(xué)重點(diǎn)基金(15JCZDJC31900,13JCYBJC17300)
【分類(lèi)號(hào)】：O484.41

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