【摘要】：闡述了一種基于低相干光干涉技術(shù)的透鏡中心厚度的測量方法,并設(shè)計了腔式測量結(jié)構(gòu)對未知折射率的材料進行中心厚度測量。測量系統(tǒng)為包括低相干測量和激光測距的全光纖結(jié)構(gòu)。低相干測量結(jié)構(gòu)參考臂和激光測距結(jié)構(gòu)參考臂的共光路設(shè)計降低了環(huán)境因素的影響,提高了測量穩(wěn)定性,并利用七步相移法實現(xiàn)對干涉信號的定位和提取。另外,利用低相干測量方法中的平衡差分結(jié)構(gòu)去除了干涉信號中的直流項,同時提高了弱信號的定位精度。實驗結(jié)果表明,該腔式測量結(jié)構(gòu)對殷瓦合金標準塊的測量精度優(yōu)于0.5μm,該系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)對透鏡中心厚度的高精度測量,滿足高精密光學(xué)系統(tǒng)的測量要求。
[Abstract]:In this paper, a method of measuring the thickness of lens center based on low coherent light interferometry is presented, and a cavity structure is designed to measure the central thickness of materials with unknown refractive index. The measuring system is an all-fiber structure including low coherence measurement and laser ranging. The design of the common optical path of the reference arm of low coherence measurement structure and the reference arm of laser ranging structure reduces the influence of environmental factors and improves the stability of measurement. The seven-step phase shift method is used to locate and extract the interference signal. In addition, the DC term in the interference signal is removed by using the balanced differential structure in the low coherence measurement method, and the positioning accuracy of the weak signal is improved at the same time. The experimental results show that the measurement accuracy of the cavity structure is better than 0.5 渭 m for the standard block of Yin tile alloy. The system can realize the high precision measurement of the thickness of the lens center and meet the requirements of the high precision optical system.
【作者單位】： 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所信息光學(xué)與光電技術(shù)實驗室;中國科學(xué)院大學(xué);
【基金】：國家科技重大專項(2011ZX02402)
【分類號】：O436.1

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本文編號：2174326