本文選題：工業(yè)CT + 空間分辨力　； 參考：《納米技術(shù)與精密工程》2017年06期

【摘要】：工業(yè)CT的空間分辨力是指從CT圖像中能夠分辨特定的最小幾何細節(jié)的能力,是評價一臺工業(yè)CT系統(tǒng)測量能力的重要參數(shù)之一.為了提升工業(yè)CT的測量能力及成像質(zhì)量,需要對其空間分辨力進行校準(zhǔn)實驗.針對這一問題設(shè)計出柵格形及交叉形分辨力線對卡,使用光刻工藝完成其研制過程,并基于此結(jié)合本底校正等圖像處理方法進行了系統(tǒng)二維空間分辨力校準(zhǔn)實驗,通過調(diào)制傳遞函數(shù)MTF計算出實驗系統(tǒng)的空間分辨力數(shù)值,驗證了此方法可用于校準(zhǔn)CT分辨力的實驗意義.最后,對如何提升測量準(zhǔn)確度的問題進行了探討.
[Abstract]:The spatial resolution of industrial CT refers to the ability to distinguish the specific minimum geometric details from the CT image and is one of the important parameters to evaluate the measurement ability of an industrial CT system. In order to improve the measuring ability and imaging quality of industrial CT, the calibration experiment of its spatial resolution is needed. In order to solve this problem, a grid and cross shape resolution line alignment card is designed, and the process of its development is completed by lithography. Based on this, the calibration experiments of systematic two-dimensional spatial resolution are carried out based on the background correction and other image processing methods. The spatial resolution of the experimental system is calculated by MTF, which verifies the experimental significance of this method in calibrating the CT resolution. Finally, how to improve the accuracy of measurement is discussed.
【作者單位】： 天津大學(xué)精密儀器與光電子工程學(xué)院;中國計量科學(xué)研究院納米新材料計量研究所;廣東省計量科學(xué)研究院長度室;中國商飛上海飛機設(shè)計研究院;中國計量科學(xué)研究院長度計量科學(xué)與精密機械測量技術(shù)研究所;
【分類號】：TP391.41

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本文編號：2006010