工業(yè)CT二維空間分辨力的校準(zhǔn)方法
本文選題:工業(yè)CT + 空間分辨力。 參考:《納米技術(shù)與精密工程》2017年06期
【摘要】:工業(yè)CT的空間分辨力是指從CT圖像中能夠分辨特定的最小幾何細(xì)節(jié)的能力,是評(píng)價(jià)一臺(tái)工業(yè)CT系統(tǒng)測(cè)量能力的重要參數(shù)之一.為了提升工業(yè)CT的測(cè)量能力及成像質(zhì)量,需要對(duì)其空間分辨力進(jìn)行校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn).針對(duì)這一問(wèn)題設(shè)計(jì)出柵格形及交叉形分辨力線對(duì)卡,使用光刻工藝完成其研制過(guò)程,并基于此結(jié)合本底校正等圖像處理方法進(jìn)行了系統(tǒng)二維空間分辨力校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn),通過(guò)調(diào)制傳遞函數(shù)MTF計(jì)算出實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)的空間分辨力數(shù)值,驗(yàn)證了此方法可用于校準(zhǔn)CT分辨力的實(shí)驗(yàn)意義.最后,對(duì)如何提升測(cè)量準(zhǔn)確度的問(wèn)題進(jìn)行了探討.
[Abstract]:The spatial resolution of industrial CT refers to the ability to distinguish the specific minimum geometric details from the CT image and is one of the important parameters to evaluate the measurement ability of an industrial CT system. In order to improve the measuring ability and imaging quality of industrial CT, the calibration experiment of its spatial resolution is needed. In order to solve this problem, a grid and cross shape resolution line alignment card is designed, and the process of its development is completed by lithography. Based on this, the calibration experiments of systematic two-dimensional spatial resolution are carried out based on the background correction and other image processing methods. The spatial resolution of the experimental system is calculated by MTF, which verifies the experimental significance of this method in calibrating the CT resolution. Finally, how to improve the accuracy of measurement is discussed.
【作者單位】: 天津大學(xué)精密儀器與光電子工程學(xué)院;中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院納米新材料計(jì)量研究所;廣東省計(jì)量科學(xué)研究院長(zhǎng)度室;中國(guó)商飛上海飛機(jī)設(shè)計(jì)研究院;中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院長(zhǎng)度計(jì)量科學(xué)與精密機(jī)械測(cè)量技術(shù)研究所;
【分類號(hào)】:TP391.41
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本文編號(hào):2006009
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