利用脈沖直流磁控濺射技術(shù)研制Ti-B-N涂層,通過降低反應氣體N₂流量,減少涂層中a-BN （a代表非晶）軟質(zhì)相的含量,增大TiB₂靶濺射功率,提高硬質(zhì)相TiB₂的含量,形成nc-（Ti₂N, TiB₂）/a-BN （nc代表納米晶）納米復合結(jié)構(gòu),實現(xiàn)涂層增韌和強化。系統(tǒng)研究了TiB₂靶濺射功率對Ti-B-N涂層成分、微觀結(jié)構(gòu)和性能的影響,利用EDS、HRTEM、SEM、XRD、納米壓痕儀和劃痕測試儀對涂層進行表征和測試,利用球-盤式摩擦磨損試驗機測試涂層摩擦學性能。結(jié)果表明,隨著TiB₂靶濺射功率增加,Ti-B-N涂層結(jié)構(gòu)逐漸由nc-Ti₂N/a-BN演變成hcp-TiB₂/a-BN;Ti-B-N涂層的納米硬度也逐漸增加,當TiB₂靶濺射功率為2.4 kW時,涂層硬度最高,約為33.8 GPa;此時Ti-B-N涂層的摩擦系數(shù)和磨損率也最低,分別為0.55和2.1×10...

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【文章目錄】：
1 實驗方法
    1.1 涂層制備
    1.2 成分分析和結(jié)構(gòu)表征
    1.3 性能測試
2 實驗結(jié)果與分析
    2.1 涂層成分與相結(jié)構(gòu)
    2.2 微觀結(jié)構(gòu)與沉積速率
    2.3 涂層的力學性能
    2.4 涂層的摩擦學性能
3 結(jié)論



本文編號：4012229