利用脈沖直流磁控濺射技術(shù)研制Ti-B-N涂層,通過降低反應(yīng)氣體N₂流量,減少涂層中a-BN （a代表非晶）軟質(zhì)相的含量,增大TiB₂靶濺射功率,提高硬質(zhì)相TiB₂的含量,形成nc-（Ti₂N, TiB₂）/a-BN （nc代表納米晶）納米復(fù)合結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)涂層增韌和強(qiáng)化。系統(tǒng)研究了TiB₂靶濺射功率對(duì)Ti-B-N涂層成分、微觀結(jié)構(gòu)和性能的影響,利用EDS、HRTEM、SEM、XRD、納米壓痕儀和劃痕測(cè)試儀對(duì)涂層進(jìn)行表征和測(cè)試,利用球-盤式摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)測(cè)試涂層摩擦學(xué)性能。結(jié)果表明,隨著TiB₂靶濺射功率增加,Ti-B-N涂層結(jié)構(gòu)逐漸由nc-Ti₂N/a-BN演變成hcp-TiB₂/a-BN;Ti-B-N涂層的納米硬度也逐漸增加,當(dāng)TiB₂靶濺射功率為2.4 kW時(shí),涂層硬度最高,約為33.8 GPa;此時(shí)Ti-B-N涂層的摩擦系數(shù)和磨損率也最低,分別為0.55和2.1×10...

【文章頁(yè)數(shù)】：9 頁(yè)

【文章目錄】：
1 實(shí)驗(yàn)方法
    1.1 涂層制備
    1.2 成分分析和結(jié)構(gòu)表征
    1.3 性能測(cè)試
2 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析
    2.1 涂層成分與相結(jié)構(gòu)
    2.2 微觀結(jié)構(gòu)與沉積速率
    2.3 涂層的力學(xué)性能
    2.4 涂層的摩擦學(xué)性能
3 結(jié)論



本文編號(hào)：4012229