在現(xiàn)代光學(xué)應(yīng)用、電子信息等高科技領(lǐng)域,大量大平面型精密光學(xué)零件和功能晶體材料常常需要進行超光滑表面加工。由于工藝要求高,目前仍缺乏一種高效、清潔、高良品率的自動化加工方案。針對大平面工件超精密加工的現(xiàn)狀,提出了氣-液-固三相磨粒流光整加工方法。利用氣泡在潰滅時釋放的能量,加速驅(qū)動磨粒運動,有效提升了拋光效率。基于對該方法的工藝進行了深入研究,本文的主要工作如下:（1）以大平面工件表面的精密加工制造難題為背景,對國內(nèi)外已有加工方法進行了詳細的調(diào)研,指出了流體加工方法的優(yōu)勢與不足。結(jié)合結(jié)構(gòu)化流道中的液-固兩相流拋光方法和氣泡潰滅理論,介紹了氣-液-固三相磨粒流光整加工方法的原理、結(jié)構(gòu)及加工工藝參數(shù)。（2）分析了氣-液-固三相磨粒流加工過程中溫度升高對光整加工的負面影響,提出了自適應(yīng)改變?nèi)肟诹魉俚男鹿に��；谇捌诹黧w光整加工的研究成果,建立了相關(guān)數(shù)學(xué)模型,通過數(shù)值分析得出不同溫度下對應(yīng)最優(yōu)入口流速值,作為控制系統(tǒng)的調(diào)速依據(jù)。（3）為了對流速進行精確控制,設(shè)計并優(yōu)化了模糊PID控制系統(tǒng)。通過對基于該算法的控制系統(tǒng)的仿真表明其具備良好性能,最后在實驗結(jié)果中驗證了該調(diào)速控制系統(tǒng)對流速的輸出數(shù)據(jù)離散... 

【文章來源】：浙江工業(yè)大學(xué)浙江省

【文章頁數(shù)】：78 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

超光滑表面加工的應(yīng)用

第 1 章 緒 論其拋光工具頭部是一個氣壓在線可控的柔性氣囊，氣囊外覆蓋拋光布作為拋光工作面，內(nèi)置電機驅(qū)動拋光頭旋轉(zhuǎn)，利用氣壓可控使氣囊最大限度與被拋光曲面仿形接觸，從而取得曲面拋光應(yīng)用領(lǐng)域的優(yōu)勢，如圖 1-2(b)；化學(xué)機械拋光（Chemical MechanicalPolishing, CMP）[15,16]，將工件的待加工表面朝下的方式在一定的壓力下壓向拋光墊，在拋光墊和工件中間存在拋光液（納米級顆粒、化學(xué)氧化劑、液體等組成的混合液）流動的條件下，借助于拋光墊和拋光件的相對運動，在磨粒的機械磨削及氧化劑的化學(xué)腐蝕雙重作用下來完成對工件表面的材料去除，并獲得光潔的表面。

1.具有結(jié)構(gòu)化表面的工件 2.被約束流道內(nèi)的磨粒流 3.約束模塊圖 1-3 加入約束模塊的結(jié)構(gòu)化表面拋光裝置結(jié)構(gòu)圖續(xù)微量切削使得液-固二相軟性磨粒流在精密光整體動壓力下拋光效率然仍受到了局限。研究表明[2壁面潰滅時，將對壁面產(chǎn)生一定的轟擊作用，如果成破壞作用，這就是通常所說的汽蝕現(xiàn)象。如果能使之產(chǎn)生合適的沖擊力度，作用于流體中的微細磨作用，以此提高流體拋光效率。三相流流動問題遠比單相流體及兩相流體的流動量、動能、能量的相互作用十分復(fù)雜，難以精確描，且主要是以外特性試驗研究為主。龐佑霞等人[26進行數(shù)值分析，進一步了解了流體機械過流部件在理。付強等人[29]對離心泵中輸送的水、固體顆粒、

【參考文獻】：
期刊論文
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碩士論文
[1]基于模糊PID的電熱爐溫度智能控制系統(tǒng)[D]. 何榮譽.湖南大學(xué) 2014
[2]面向軟性磨粒流加工的模糊控制系統(tǒng)的研究[D]. 周龍兵.浙江工業(yè)大學(xué) 2012
[3]基于模糊PID參數(shù)自整定算法的鐘罩爐溫度控制系統(tǒng)[D]. 譚旭良.中南大學(xué) 2012
[4]微納米氣泡發(fā)生裝置研究[D]. 劉季霖.浙江大學(xué) 2012
[5]氣泡逸出控制措施對氣泡船減阻效果影響的數(shù)值研究[D]. 鄒存?zhèn)?武漢理工大學(xué) 2009
[6]智能PID算法的研究及其在溫度控制中的應(yīng)用[D]. 文科星.東華大學(xué) 2009
[7]基于模糊PID控制的變頻調(diào)速恒壓供水控制系統(tǒng)[D]. 王瑞蘭.山東大學(xué) 2006



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