介紹了三氟化氮、六氟化鎢、四氟化碳、電子級六氟化硫等幾種含氟電子氣體在半導體、平板顯示等領(lǐng)域的應(yīng)用。對相關(guān)行業(yè)發(fā)展的現(xiàn)狀和前景進行了分析和預(yù)測,討論了行業(yè)發(fā)展的潛在風險。 

【文章來源】：化學推進劑與高分子材料. 2020,18(02)

【文章頁數(shù)】：5 頁

【文章目錄】：
1 幾種含氟電子氣體的性質(zhì)及其在電子行業(yè)的應(yīng)用
    1.1 三氟化氮
    1.2 六氟化鎢
    1.3 四氟化碳
    1.4 電子級六氟化硫
2 行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀
3 發(fā)展預(yù)測
4 行業(yè)發(fā)展存在的風險
5 結(jié)束語


【參考文獻】：
期刊論文
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[3]含氟電子氣體研究進展[J]. 李盛姬,黃雪靜,齊海,張建君.  低溫與特氣. 2013(01)
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本文編號：3251369