綜述了不同精餾技術(shù)在三氯氫硅提純中的應(yīng)用,并對多效精餾技術(shù)、精餾熱耦合技術(shù)、隔壁塔精餾技術(shù)等高效節(jié)能精餾技術(shù)進(jìn)行探討,并針對不同高效節(jié)能精餾技術(shù)優(yōu)缺點(diǎn)進(jìn)行對比分析。 

【文章來源】：中國氯堿. 2020,(11)

【文章頁數(shù)】：4 頁

【部分圖文】：

三氯氫硅連續(xù)精餾提純工藝示意圖

全熱耦合精餾的生產(chǎn)工藝示意圖

三氯氫硅差壓耦合精餾工藝流程示意圖

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]低壓合成法制備三氯氫硅工藝概述[J]. 張文彪.  新材料產(chǎn)業(yè). 2013(08)
[2]太陽能光伏產(chǎn)業(yè)中多晶硅生產(chǎn)與發(fā)展研究[J]. 張獻(xiàn)城.  科技資訊. 2010(28)
[3]差壓熱耦合蒸餾節(jié)能技術(shù)[J]. 李洪,李鑫鋼,羅銘芳.  化工進(jìn)展. 2008(07)



本文編號：3080797