發(fā)布時(shí)間：2021-03-13 19:20

　　還原爐是生產(chǎn)多晶硅的重要設(shè)備,也是多晶硅生產(chǎn)中能耗最高的設(shè)備。采取一定的措施來(lái)減少還原爐的能耗已經(jīng)成為多晶硅企業(yè)關(guān)注的熱點(diǎn)。為此,對(duì)還原爐沉積生產(chǎn)過(guò)程中的能耗進(jìn)行分析并探究其在生產(chǎn)過(guò)程中的能耗損失途徑是很有意義和必要的。還原爐沉積生產(chǎn)過(guò)程是隨機(jī)動(dòng)態(tài)的過(guò)程,每時(shí)每刻的能耗都在變化,其生產(chǎn)過(guò)程的能耗存在不確定性,因此對(duì)其能耗進(jìn)行預(yù)測(cè)研究,探究影響因素與能耗之間的內(nèi)在聯(lián)系,有利于對(duì)還原生產(chǎn)過(guò)程的管控。本文針對(duì)多晶硅還原爐,通過(guò)對(duì)多晶硅還原過(guò)程能耗進(jìn)行多角度全面分析,并探究了還原過(guò)程的能耗損失途徑。并在此基礎(chǔ)上,針對(duì)還原爐沉積生產(chǎn)過(guò)程的隨機(jī)動(dòng)態(tài)性,對(duì)還原過(guò)程的能耗進(jìn)行了預(yù)測(cè)研究,以便提前預(yù)知沉積過(guò)程未來(lái)一段時(shí)間的能耗情況。本文的研究?jī)?nèi)容具體如下:1.根據(jù)多晶硅還原爐沉積生產(chǎn)工藝過(guò)程,系統(tǒng)分析了還原爐設(shè)備,還原工藝流程和還原過(guò)程能流分析,揭示了還原沉積生產(chǎn)的能耗特點(diǎn)及能耗影響因素。2.探究了還原爐沉積生產(chǎn)過(guò)程的能耗損失途徑,其途徑主要有硅棒表面對(duì)爐壁的輻射散熱損失、進(jìn)出氣體換熱損失以及化學(xué)反應(yīng)熱損失。針對(duì)24對(duì)棒還原爐的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)及其工藝參數(shù),利用玻爾茲曼輻射定律對(duì)其在生產(chǎn)沉積過(guò)程不同階段的輻射散... 

【文章來(lái)源】：廣東工業(yè)大學(xué)廣東省

【文章頁(yè)數(shù)】：77 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

論文的組織結(jié)構(gòu)圖

改良西門子法工藝流程

還原爐結(jié)構(gòu)示意圖

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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碩士論文
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本文編號(hào)：3080772