還原爐是生產(chǎn)多晶硅的重要設(shè)備,也是多晶硅生產(chǎn)中能耗最高的設(shè)備。采取一定的措施來減少還原爐的能耗已經(jīng)成為多晶硅企業(yè)關(guān)注的熱點。為此,對還原爐沉積生產(chǎn)過程中的能耗進行分析并探究其在生產(chǎn)過程中的能耗損失途徑是很有意義和必要的。還原爐沉積生產(chǎn)過程是隨機動態(tài)的過程,每時每刻的能耗都在變化,其生產(chǎn)過程的能耗存在不確定性,因此對其能耗進行預(yù)測研究,探究影響因素與能耗之間的內(nèi)在聯(lián)系,有利于對還原生產(chǎn)過程的管控。本文針對多晶硅還原爐,通過對多晶硅還原過程能耗進行多角度全面分析,并探究了還原過程的能耗損失途徑。并在此基礎(chǔ)上,針對還原爐沉積生產(chǎn)過程的隨機動態(tài)性,對還原過程的能耗進行了預(yù)測研究,以便提前預(yù)知沉積過程未來一段時間的能耗情況。本文的研究內(nèi)容具體如下:1.根據(jù)多晶硅還原爐沉積生產(chǎn)工藝過程,系統(tǒng)分析了還原爐設(shè)備,還原工藝流程和還原過程能流分析,揭示了還原沉積生產(chǎn)的能耗特點及能耗影響因素。2.探究了還原爐沉積生產(chǎn)過程的能耗損失途徑,其途徑主要有硅棒表面對爐壁的輻射散熱損失、進出氣體換熱損失以及化學(xué)反應(yīng)熱損失。針對24對棒還原爐的結(jié)構(gòu)特點及其工藝參數(shù),利用玻爾茲曼輻射定律對其在生產(chǎn)沉積過程不同階段的輻射散... 

【文章來源】：廣東工業(yè)大學(xué)廣東省

【文章頁數(shù)】：77 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

論文的組織結(jié)構(gòu)圖

改良西門子法工藝流程

還原爐結(jié)構(gòu)示意圖

【參考文獻】：
期刊論文
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本文編號：3080772