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電解法制備三氟化氮粗氣成分的快速分析

發(fā)布時間:2021-03-14 01:27
  在對電解法制三氟化氮(NF3)的粗氣采樣檢測中,采用負(fù)壓式自動采樣裝置并選用合適的干燥器采樣,避免了用雙聯(lián)球采樣方式中雙聯(lián)球被腐蝕而堵塞的缺陷。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,采用負(fù)壓式采樣檢測可有效提高采樣效率和分析結(jié)果的準(zhǔn)確性,且分析結(jié)果重復(fù)性良好,適用于電解法制備NF3電解槽粗氣的快速取樣分析。 

【文章來源】:化學(xué)推進(jìn)劑與高分子材料. 2020,18(03)

【文章頁數(shù)】:4 頁

【部分圖文】:

電解法制備三氟化氮粗氣成分的快速分析


負(fù)壓式自動采樣裝置示意圖

【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
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[3]三氟化氮純化方法進(jìn)展[J]. 彭立培,王少波,李紹波,付嫚.  化學(xué)工業(yè)與工程. 2007(01)
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[5]三氟化氮—一種新型干蝕刻氣[J]. A.J.Woytek,康顯澄.  低溫與特氣. 1985(03)



本文編號:3081252

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