【摘要】：采用工業(yè)磁控濺射設備在玻璃基板上依次沉積Al_2O_3/SiO_2/CNx多層復合納米薄膜,并研究測試了其透過率、耐劃性及耐酸堿性。結果表明,通過引入線性陽極層離子源,控制并形成新的磁控濺射鍍膜工藝,膜層莫氏硬度達到8級,具有優(yōu)良的防刮效果;膜層存在△T0.6%的微弱增透效果;經(jīng)過酸/堿處理,透過率衰減|ΔT|0.1%。
[Abstract]:The Al _ 2O _ s _ 3 / Sio _ (2) / C _ (x) multilayer composite nanocrystalline films were deposited on glass substrates by industrial magnetron sputtering equipment, and their transmittance, scratching resistance and acid and alkalinity resistance were studied and tested. The results show that by introducing a linear anodic ion source to control and form a new magnetron sputtering coating process, the Mohlich hardness of the film is up to 8 grade, the film has excellent anti-scratch effect, the film has a weak antireflection effect of T0.6%, and the film is treated with acid / alkali. Transmittance attenuation.
【作者單位】： 深圳市三鑫精美特玻璃有限公司;海南中航特玻科技有限公司;海南省特種玻璃重點實驗室海南大學;
【分類號】：TQ171.7

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本文編號：2130486