本文關(guān)鍵詞： 大數(shù)據(jù)分析 MEMS 耐磨性　出處：《科技通報(bào)》2017年12期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：當(dāng)前方法MEMS電鍍銅薄膜耐磨性的預(yù)測(cè)值與真實(shí)值擬合度較差,預(yù)測(cè)誤差率高。提出基于大數(shù)據(jù)分析的MEMS電鍍銅薄膜耐磨性預(yù)測(cè)方法研究,進(jìn)行MEMS薄膜的電鍍銅實(shí)驗(yàn),提取薄膜鍍層厚度和鍍層均勻度的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù);利用提取的樣本數(shù)據(jù),采用智能支持向量機(jī)(SVM)的大數(shù)據(jù)預(yù)測(cè)方法,進(jìn)行SVM模型構(gòu)建和參數(shù)優(yōu)化選擇,提高數(shù)據(jù)分類和預(yù)測(cè)的精度,實(shí)現(xiàn)對(duì)MEMS電鍍銅薄膜耐磨性的精確預(yù)測(cè)。實(shí)驗(yàn)證明提出的方法能夠提高預(yù)測(cè)的精度、降低誤差。
[Abstract]:At present, the prediction value of wear resistance of MEMS electroplated copper thin film is worse than that of real value, and the prediction error rate is high. A method of predicting wear resistance of MEMS electroplated copper film based on big data analysis is put forward, and the copper electroplating experiment of MEMS film is carried out. The experimental data of film coating thickness and coating uniformity are extracted, and big data prediction method of intelligent support vector machine (SVM) is used to construct SVM model and optimize parameters to improve the accuracy of data classification and prediction. The accurate prediction of wear resistance of MEMS electroplated copper thin films is realized. The experiments show that the proposed method can improve the precision of prediction and reduce the error.
【作者單位】： 煙臺(tái)大學(xué)文經(jīng)學(xué)院;貴州興義民族師范學(xué)院;
【基金】：2016年煙臺(tái)大學(xué)文經(jīng)學(xué)院教學(xué)改革研究項(xiàng)目:獨(dú)立學(xué)院軟件工程課程教學(xué)模式改革研究(2016JYB023)
【分類號(hào)】：TQ153.14

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本文編號(hào)：1525918