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PSN-PZT陶瓷及其在加速度傳感器中的應用研究

發(fā)布時間:2017-11-23 18:00

  本文關鍵詞:PSN-PZT陶瓷及其在加速度傳感器中的應用研究


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【摘要】:利用傳統(tǒng)固相燒結法制備了0.02Pb(Sb_(0.5)Nb_(0.5))O_3-0.98Pb_(1-2 x)Ba_xSr_x(Zr_(0.53)Ti_(0.47))O_3壓電陶瓷(其中x=0.02,0.03,0.04,0.05).討論了不同Ba、Sr復合摻雜量及燒結溫度對陶瓷結構和電性能的影響.結果顯示,當x=0.04,燒結溫度為1 260℃時,壓電陶瓷的性能最佳,其中d_(33)=615 p C/N,ε_(33)/ε_0=2 224,tanδ=2.11%;然后把這個配方的陶瓷片安裝到傳感器中,測試其電荷靈敏度、最大橫向靈敏度比和最大線性誤差,電荷靈敏度為2.72 p C/(m·s~(-2)),最大橫向靈敏度比小于5%,最大線性誤差為2.97%,符合通用振動測試類型傳感器使用要求.
【作者單位】: 鄭州大學化工與能源學院;
【基金】:國家新型電子元器件專項(2008-1436) 河南省產(chǎn)學研合作資助項目(142107000003) 河南省教育廳重點資助項目(14A5300)
【分類號】:TQ174.7;TP212
【正文快照】: 0引言在工程技術中,常常會遇到機械振動的問題.為了消除或減小振動,就需要有一系列精確可靠的振動測量儀器,比如壓電加速度傳感器[1].壓電加速度傳感器又稱壓電加速度計或壓電加速度表.世界上首次實現(xiàn)壓電加速度傳感器商品化的時間是1943年,由丹麥的BrüelKj錥r公司設計[2].

本文編號:1219308

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