本文關(guān)鍵詞：PSN-PZT陶瓷及其在加速度傳感器中的應(yīng)用研究

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【摘要】：利用傳統(tǒng)固相燒結(jié)法制備了0.02Pb(Sb_(0.5)Nb_(0.5))O_3-0.98Pb_(1-2 x)Ba_xSr_x(Zr_(0.53)Ti_(0.47))O_3壓電陶瓷(其中x=0.02,0.03,0.04,0.05).討論了不同Ba、Sr復(fù)合摻雜量及燒結(jié)溫度對(duì)陶瓷結(jié)構(gòu)和電性能的影響.結(jié)果顯示,當(dāng)x=0.04,燒結(jié)溫度為1 260℃時(shí),壓電陶瓷的性能最佳,其中d_(33)=615 p C/N,ε_(tái)(33)/ε_(tái)0=2 224,tanδ=2.11%;然后把這個(gè)配方的陶瓷片安裝到傳感器中,測(cè)試其電荷靈敏度、最大橫向靈敏度比和最大線性誤差,電荷靈敏度為2.72 p C/(m·s~(-2)),最大橫向靈敏度比小于5%,最大線性誤差為2.97%,符合通用振動(dòng)測(cè)試類型傳感器使用要求.
【作者單位】： 鄭州大學(xué)化工與能源學(xué)院;
【基金】：國(guó)家新型電子元器件專項(xiàng)(2008-1436) 河南省產(chǎn)學(xué)研合作資助項(xiàng)目(142107000003) 河南省教育廳重點(diǎn)資助項(xiàng)目(14A5300)
【分類號(hào)】：TQ174.7;TP212
【正文快照】： 0引言在工程技術(shù)中,常常會(huì)遇到機(jī)械振動(dòng)的問(wèn)題.為了消除或減小振動(dòng),就需要有一系列精確可靠的振動(dòng)測(cè)量?jī)x器,比如壓電加速度傳感器[1].壓電加速度傳感器又稱壓電加速度計(jì)或壓電加速度表.世界上首次實(shí)現(xiàn)壓電加速度傳感器商品化的時(shí)間是1943年,由丹麥的BrüelKj錥r公司設(shè)計(jì)[2].，

本文編號(hào)：1219308