發(fā)布時間：2017-08-11 12:39

  本文關(guān)鍵詞：頂柵石墨烯離子敏場效應(yīng)管的表征及其初步應(yīng)用

  更多相關(guān)文章： 石墨烯 場效應(yīng)管 HfO/AlO 水基-原子層沉積

【摘要】：傳統(tǒng)的液柵型石墨烯場效應(yīng)管雖然靈敏度高,但是石墨烯溝道極易被污染,致使器件的穩(wěn)定性減小,不能被重復(fù)利用.為此,我們設(shè)計制造了一種頂柵石墨烯離子敏場效應(yīng)管,以化學(xué)氣相沉積生長的石墨烯為溝道,通過原子層沉積在石墨烯表面沉積絕緣層Hf O_2/Al_2O_3,其中Al_2O_3作為敏感膜,Hf O_2/Al_2O_3作為石墨烯及電極的保護(hù)膜.經(jīng)過一系列的電學(xué)表征和測試發(fā)現(xiàn),相較于液柵型石墨烯場效應(yīng)管,頂柵石墨烯場效應(yīng)管具有更高的信噪比、更好的穩(wěn)定性.為了利用頂柵石墨烯進(jìn)行生物分子的檢測,我們將單鏈DNA修飾在Al_2O_3表面,成功檢測到了修飾DNA前后的信號差異,并結(jié)合熒光修飾的表征驗(yàn)證了頂柵石墨烯場效應(yīng)管用于生物傳感器的可行性.
【作者單位】： 上海大學(xué)上海市應(yīng)用數(shù)學(xué)和力學(xué)研究所;中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所傳感技術(shù)聯(lián)合國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 石墨烯 場效應(yīng)管 HfO/AlO 水基-原子層沉積
【基金】：國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃(批準(zhǔn)號:2014AA06A506) 國家自然科學(xué)基金(批準(zhǔn)號:61501441;61401442) 中國科學(xué)院中德國際合作伙伴團(tuán)隊項(xiàng)目(批準(zhǔn)號:GJHZ 1306) 上海市科委項(xiàng)目(批準(zhǔn)號:14ZR1447300,15220721700) 上海市教委基礎(chǔ)研究重點(diǎn)項(xiàng)目(批準(zhǔn)號:14ZZ095)資助的課題~~
【分類號】：O613.71
【正文快照】： 傳統(tǒng)的液柵型石墨烯場效應(yīng)管雖然靈敏度高, 但是石墨烯溝道極易被污染, 致使器件的穩(wěn)定性減小, 不能被重復(fù)利用. 為此, 我們設(shè)計制造了一種頂柵石墨烯離子敏場效應(yīng)管, 以化學(xué)氣相沉積生長的石墨烯為溝道,通過原子層沉積在石墨烯表面沉積絕緣層Hf O2/Al2O3, 其中Al2O3作為敏感

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4 劉霞;計算機(jī)模擬顯示石墨炔的性能勝過石墨烯[N];科技日報;2012年

5 記者 毛黎;美利用電子成像技術(shù)分析石墨烯[N];科技日報;2012年

6 王小龍;石墨烯鼓有望成為量子計算機(jī)內(nèi)存[N];科技日報;2014年

7 本報記者 孫維鋒;神秘的石墨烯[N];東莞日報;2014年

8 馮衛(wèi)東;美證明石墨烯是強(qiáng)度最高材料[N];科技日報;2008年

9 馮衛(wèi)東;超材料石墨烯開發(fā)取得重大突破[N];科技日報;2010年

10 實(shí)習(xí)記者 陶加;石墨烯材料研究取得重要突破[N];中國化工報;2010年

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本文編號：656193