基于CVD法制備碳納米管陣列及其性能研究
發(fā)布時間:2017-04-14 10:19
本文關鍵詞:基于CVD法制備碳納米管陣列及其性能研究,由筆耕文化傳播整理發(fā)布。
【摘要】:由于碳納米管(CNTs)具有優(yōu)越的電學性能和力學性能,在電子器件和復合材料中有廣闊的應用前景;瘜W氣相沉積法(CVD)具有工藝簡單,產(chǎn)物純度高等優(yōu)點,并且能夠直接在基底上得到碳納米管陣列,是目前使用最多的制備碳納米管陣列的方法。本論文基于CVD法成功制備了碳納米管陣列,并研究了工藝參數(shù)對不同性質的基底上碳納米管陣列生長機理及形貌的影響。 本文首先研究了碳納米管陣列在石英(SiO2)基底上的生長,討論了工藝參數(shù)對碳納米管陣列的形貌和結構的影響,并對碳納米管陣列的力學性能和導電性能進行了測試,討論了碳納米管陣列的一些可能存在的應用領域。其次研究了在圖案化的Au/Si和Al/Si基底上碳納米管陣列的生長情況并進行了討論。 實驗結果表明:通過工藝優(yōu)化,在石英基底上實現(xiàn)了碳納米管陣列超長和快速生長,碳納米管陣列最高可達到1.3mm,最快生長速率約為39μm/min。碳納米管陣列在應變?yōu)?0%時,塑性形變僅為9.8%;在10次應變?yōu)?0%的循環(huán)壓縮后,幾乎無機械強度的退化和明顯的形變。且在壓縮(應變小于15%)過程中,碳納米管陣列的導電性呈線性變化。碳納米管陣列對有機溶劑的吸收容量為6~9g.g-1。在圖案化的Au/Si基底上,根據(jù)反應條件的不同,實現(xiàn)了硅基底上生長碳納米管陣列。而在圖案化的Al/Si上,通過對反應動力學條件的控制,得到了圖案化的碳納米管陣列及其互補結構。
【關鍵詞】:碳納米管陣列 化學氣相沉積法 基底圖案化 導電性能
【學位授予單位】:哈爾濱理工大學
【學位級別】:碩士
【學位授予年份】:2015
【分類號】:TB383.1;O613.71
【目錄】:
- 摘要5-6
- Abstract6-9
- 第1章 緒論9-15
- 1.1 課題背景9
- 1.2 碳納米管的結構9-10
- 1.2.1 碳納米管分類9
- 1.2.2 碳納米管性能9-10
- 1.3 碳納米管陣列的制備方法10-13
- 1.4 碳納米管陣列國內(nèi)外的研究現(xiàn)狀13-14
- 1.5 課題研究意義和主要內(nèi)容14-15
- 第2章 實驗方法及原理15-23
- 2.1 實驗材料及設備15-16
- 2.1.1 實驗材料15
- 2.1.2 實驗設備15-16
- 2.2 CVD 制備定向碳納米管陣列原理16-18
- 2.3 實驗方法18-21
- 2.3.1 石英基底清洗18
- 2.3.2 圖案化基底制作18-20
- 2.3.3 碳納米管陣列制備20-21
- 2.4 碳納米管陣列表征和性能測試21-23
- 2.4.1 碳納米管陣列表征21-22
- 2.4.2 碳納米管陣列性能測試22-23
- 第3章 碳納米管陣列的可控制備及應用23-45
- 3.1 引言23
- 3.2 不同因素對碳納米管陣列生長的影響23-37
- 3.2.1 生長溫度23-26
- 3.2.2 氬氣流量26-29
- 3.2.3 催化劑前驅體溶液濃度29-33
- 3.2.4 催化劑前驅體溶液滴速33-35
- 3.2.5 生長時間35-37
- 3.3 石英基底上碳納米管陣列生長機制分析37-40
- 3.4 碳納米管陣列的應用探索40-45
- 3.4.1 力學性能測試40-42
- 3.4.2 導電性能測試42-44
- 3.4.3 吸收性能測試44-45
- 第4章 圖案化基底上碳納米管陣列生長研究45-55
- 4.1 Al/Si 圖案化基底上制備碳納米管陣列45-49
- 4.1.1 生長溫度45-47
- 4.1.2 氬氣流量47-48
- 4.1.3 催化劑前驅體溶液滴速48-49
- 4.2 Au/Si 圖案化基底上制備碳納米管陣列49-55
- 4.2.1 生長溫度49-50
- 4.2.2 氬氣流量50-51
- 4.2.3 催化劑前驅體溶液濃度51
- 4.2.4 催化劑前驅體溶液滴速51-53
- 4.2.5 Au/Si 基底上碳納米管陣列生長機制分析53-55
- 結論55-56
- 參考文獻56-61
- 致謝61
【參考文獻】
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本文關鍵詞:基于CVD法制備碳納米管陣列及其性能研究,,由筆耕文化傳播整理發(fā)布。
本文編號:305794
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