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基于CVD法制備碳納米管陣列及其性能研究

發(fā)布時間:2017-04-14 10:19

  本文關鍵詞:基于CVD法制備碳納米管陣列及其性能研究,由筆耕文化傳播整理發(fā)布。


【摘要】:由于碳納米管(CNTs)具有優(yōu)越的電學性能和力學性能,在電子器件和復合材料中有廣闊的應用前景;瘜W氣相沉積法(CVD)具有工藝簡單,產(chǎn)物純度高等優(yōu)點,并且能夠直接在基底上得到碳納米管陣列,是目前使用最多的制備碳納米管陣列的方法。本論文基于CVD法成功制備了碳納米管陣列,并研究了工藝參數(shù)對不同性質的基底上碳納米管陣列生長機理及形貌的影響。 本文首先研究了碳納米管陣列在石英(SiO2)基底上的生長,討論了工藝參數(shù)對碳納米管陣列的形貌和結構的影響,并對碳納米管陣列的力學性能和導電性能進行了測試,討論了碳納米管陣列的一些可能存在的應用領域。其次研究了在圖案化的Au/Si和Al/Si基底上碳納米管陣列的生長情況并進行了討論。 實驗結果表明:通過工藝優(yōu)化,在石英基底上實現(xiàn)了碳納米管陣列超長和快速生長,碳納米管陣列最高可達到1.3mm,最快生長速率約為39μm/min。碳納米管陣列在應變?yōu)?0%時,塑性形變僅為9.8%;在10次應變?yōu)?0%的循環(huán)壓縮后,幾乎無機械強度的退化和明顯的形變。且在壓縮(應變小于15%)過程中,碳納米管陣列的導電性呈線性變化。碳納米管陣列對有機溶劑的吸收容量為6~9g.g-1。在圖案化的Au/Si基底上,根據(jù)反應條件的不同,實現(xiàn)了硅基底上生長碳納米管陣列。而在圖案化的Al/Si上,通過對反應動力學條件的控制,得到了圖案化的碳納米管陣列及其互補結構。
【關鍵詞】:碳納米管陣列 化學氣相沉積法 基底圖案化 導電性能
【學位授予單位】:哈爾濱理工大學
【學位級別】:碩士
【學位授予年份】:2015
【分類號】:TB383.1;O613.71
【目錄】:
  • 摘要5-6
  • Abstract6-9
  • 第1章 緒論9-15
  • 1.1 課題背景9
  • 1.2 碳納米管的結構9-10
  • 1.2.1 碳納米管分類9
  • 1.2.2 碳納米管性能9-10
  • 1.3 碳納米管陣列的制備方法10-13
  • 1.4 碳納米管陣列國內(nèi)外的研究現(xiàn)狀13-14
  • 1.5 課題研究意義和主要內(nèi)容14-15
  • 第2章 實驗方法及原理15-23
  • 2.1 實驗材料及設備15-16
  • 2.1.1 實驗材料15
  • 2.1.2 實驗設備15-16
  • 2.2 CVD 制備定向碳納米管陣列原理16-18
  • 2.3 實驗方法18-21
  • 2.3.1 石英基底清洗18
  • 2.3.2 圖案化基底制作18-20
  • 2.3.3 碳納米管陣列制備20-21
  • 2.4 碳納米管陣列表征和性能測試21-23
  • 2.4.1 碳納米管陣列表征21-22
  • 2.4.2 碳納米管陣列性能測試22-23
  • 第3章 碳納米管陣列的可控制備及應用23-45
  • 3.1 引言23
  • 3.2 不同因素對碳納米管陣列生長的影響23-37
  • 3.2.1 生長溫度23-26
  • 3.2.2 氬氣流量26-29
  • 3.2.3 催化劑前驅體溶液濃度29-33
  • 3.2.4 催化劑前驅體溶液滴速33-35
  • 3.2.5 生長時間35-37
  • 3.3 石英基底上碳納米管陣列生長機制分析37-40
  • 3.4 碳納米管陣列的應用探索40-45
  • 3.4.1 力學性能測試40-42
  • 3.4.2 導電性能測試42-44
  • 3.4.3 吸收性能測試44-45
  • 第4章 圖案化基底上碳納米管陣列生長研究45-55
  • 4.1 Al/Si 圖案化基底上制備碳納米管陣列45-49
  • 4.1.1 生長溫度45-47
  • 4.1.2 氬氣流量47-48
  • 4.1.3 催化劑前驅體溶液滴速48-49
  • 4.2 Au/Si 圖案化基底上制備碳納米管陣列49-55
  • 4.2.1 生長溫度49-50
  • 4.2.2 氬氣流量50-51
  • 4.2.3 催化劑前驅體溶液濃度51
  • 4.2.4 催化劑前驅體溶液滴速51-53
  • 4.2.5 Au/Si 基底上碳納米管陣列生長機制分析53-55
  • 結論55-56
  • 參考文獻56-61
  • 致謝61

【參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前5條

1 徐耿;勇振中;李清文;;超長碳納米管陣列的制備與應用[J];材料導報;2011年01期

2 蔡方凱;;分散定向碳納米管陣列的制備及場發(fā)射性能[J];電子元件與材料;2009年08期

3 王紅波,王森,俞國軍,李玉蘭,何綏霞,鞏金龍,陸榮榮,朱德彰,朱志遠;高度定向的碳納米管陣列的制備[J];核技術;2004年09期

4 姜開利;王佳平;李群慶;劉亮;劉長洪;范守善;;超順排碳納米管陣列、薄膜、長線——通向應用之路[J];中國科學:物理學 力學 天文學;2011年04期

5 李明偉,胡征,王喜章,吳強,呂憶農(nóng),陳懿;電暈放電等離子體增強化學氣相沉積合成碳納米管陣列[J];科學通報;2003年01期

中國博士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 滿玉紅;定向多壁碳納米管陣列的生長機理與可控制備研究[D];清華大學;2011年


  本文關鍵詞:基于CVD法制備碳納米管陣列及其性能研究,,由筆耕文化傳播整理發(fā)布。



本文編號:305794

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