抽速小于10^-4m~3/s量級的微型濺射離子泵在航天載荷產(chǎn)品、電子器件、科學儀器領域應用廣泛,現(xiàn)有的抽速測量方法都大于10^-2m~3/s量級,無法解決極小抽速精確測量的急需。制約抽速測量的主要原因是測量用電離真空計本身的抽速在10^-5～10^-4m~3/s量級,與被測微型真空泵抽速在同一數(shù)量級,以及現(xiàn)有測量方法無法適用于極小抽速的測量。在論述微型濺射離子泵極小抽速測量的重要意義及分析其難點的基礎上,調(diào)研了極小抽速測量研究的最新進展,提出了極小抽速測量的構(gòu)想,期望能為實現(xiàn)微型濺射離子泵極小抽速的精確測量提供幫助。 

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【文章目錄】：
0 引言
1 航天產(chǎn)品上使用的微型濺射離子泵的極小抽速需要精確測量
    1.1 靜電懸浮加速度計腔體中的超高真空需要用微型濺射離子泵維持
    1.2 空間探測質(zhì)譜計質(zhì)譜室需要用微型濺射離子泵抽氣
    1.3 原子鐘真空腔體中的超高真空需要用微型濺射離子泵保持
    1.4 真空電子器件腔體需要使用微型濺射離子泵抽氣
2 極小抽速精確測量的技術(shù)難點
    2.1 現(xiàn)有真空泵抽速測量方法無法滿足10-4m3/s以下極小抽速的精確測量
    2.2 電離真空計自身抽氣效應是制約極小抽速精確測量的主要原因
3 極小抽速測量方法最新研究進展
    3.1 電離真空計極小抽速的測量方法
    3.2 電離真空計與非蒸散性吸氣劑泵組合測量極小抽速的方法
    3.3 微型濺射離子泵抽速測量
    3.4 現(xiàn)有方法無法實現(xiàn)極小抽速精確測量
4 極小抽速測量的基本構(gòu)想


【參考文獻】：
期刊論文
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