抽速小于10^-4m~3/s量級(jí)的微型濺射離子泵在航天載荷產(chǎn)品、電子器件、科學(xué)儀器領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,現(xiàn)有的抽速測量方法都大于10^-2m~3/s量級(jí),無法解決極小抽速精確測量的急需。制約抽速測量的主要原因是測量用電離真空計(jì)本身的抽速在10^-5～10^-4m~3/s量級(jí),與被測微型真空泵抽速在同一數(shù)量級(jí),以及現(xiàn)有測量方法無法適用于極小抽速的測量。在論述微型濺射離子泵極小抽速測量的重要意義及分析其難點(diǎn)的基礎(chǔ)上,調(diào)研了極小抽速測量研究的最新進(jìn)展,提出了極小抽速測量的構(gòu)想,期望能為實(shí)現(xiàn)微型濺射離子泵極小抽速的精確測量提供幫助。 

【文章頁數(shù)】：6 頁

【文章目錄】：
0 引言
1 航天產(chǎn)品上使用的微型濺射離子泵的極小抽速需要精確測量
    1.1 靜電懸浮加速度計(jì)腔體中的超高真空需要用微型濺射離子泵維持
    1.2 空間探測質(zhì)譜計(jì)質(zhì)譜室需要用微型濺射離子泵抽氣
    1.3 原子鐘真空腔體中的超高真空需要用微型濺射離子泵保持
    1.4 真空電子器件腔體需要使用微型濺射離子泵抽氣
2 極小抽速精確測量的技術(shù)難點(diǎn)
    2.1 現(xiàn)有真空泵抽速測量方法無法滿足10-4m3/s以下極小抽速的精確測量
    2.2 電離真空計(jì)自身抽氣效應(yīng)是制約極小抽速精確測量的主要原因
3 極小抽速測量方法最新研究進(jìn)展
    3.1 電離真空計(jì)極小抽速的測量方法
    3.2 電離真空計(jì)與非蒸散性吸氣劑泵組合測量極小抽速的方法
    3.3 微型濺射離子泵抽速測量
    3.4 現(xiàn)有方法無法實(shí)現(xiàn)極小抽速精確測量
4 極小抽速測量的基本構(gòu)想


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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