無閥壓電泵結(jié)構(gòu)簡單,無電磁干擾,在生化分析、流體輸送、芯片冷卻等微機(jī)電系統(tǒng)中具有廣闊的應(yīng)用前景。隨著技術(shù)裝備的發(fā)展,對無閥壓電泵的可靠性、穩(wěn)定性、流量控制精度提出了愈來愈高的要求。以錐形流管為代表的無閥壓電泵存在流量小、湍流大、輸出壓力低、回流嚴(yán)重等問題,其中湍流是能量損耗的主因。研究泵送介質(zhì)在壓電振子作用下與容積腔壁的耦合作用規(guī)律,建立利于單相流動(dòng)的容積腔幾何形狀,降低湍流帶來的能量損耗,是無閥壓電泵實(shí)現(xiàn)商業(yè)化、實(shí)用化的基礎(chǔ)工作。雨滴的形狀是在空中降落時(shí)受到重力、表面張力、空氣阻力和浮力綜合作用的結(jié)果,本質(zhì)上是面力與體力達(dá)到平衡的狀態(tài)。壓電泵中液體在慣性力、切向力、流動(dòng)阻力的作用下最終獲得單向流動(dòng),本質(zhì)上也是體力與面力的平衡,如果將型腔做成雨滴的形狀,可能獲得液體與壁面均勻的作用力,降低湍流強(qiáng)度,進(jìn)而減小能量損失。尋著這個(gè)思路,課題組提出了雨滴形流管無閥壓電泵。主要研究內(nèi)容包括:為研究雨滴形流管無閥壓電泵的可行性,本文對該泵進(jìn)行了以下幾個(gè)方面的研究:（1）根據(jù)雨滴的固有特性創(chuàng)新性地提出了一種雨滴形流管無閥壓電泵,并分析了其工作原理及對壓電振子進(jìn)行振動(dòng)理論分析。（2）對壓電振子進(jìn)行了模... 

【文章來源】：廣州大學(xué)廣東省

【文章頁數(shù)】：86 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

擴(kuò)張/收縮無閥流體泵Fig.1-1Valvelessdiffuser/nozzle-basedfluidpump1995年，德國的TorstenGerlach等人首次制作出硅基錐形無閥壓電泵[21]

最大流量為2.3ml/min,最大泵壓為7.6m水柱。同年，新加坡的Dr Tay Eng Ho等人利用光刻和微加工技術(shù)制作了并聯(lián)雙腔錐形流管無閥壓電泵[23]，同時(shí)利深活性離子蝕刻技術(shù)和陽極鍵合技術(shù)制作了深度為 0.3mm 的擴(kuò)張與收縮管及腔流道，該泵的壓差可以達(dá)到 105mm H2O。如圖 1-4。

最大流量為2.3ml/min,最大泵壓為7.6m水柱。同年，新加坡的Dr Tay Eng Ho等人利用光刻和微加工技術(shù)制作了并聯(lián)雙腔錐形流管無閥壓電泵[23]，同時(shí)利深活性離子蝕刻技術(shù)和陽極鍵合技術(shù)制作了深度為 0.3mm 的擴(kuò)張與收縮管及腔流道，該泵的壓差可以達(dá)到 105mm H2O。如圖 1-4。


本文編號(hào)：3435249