在微電子裝配、細(xì)胞操作、光學(xué)工程等領(lǐng)域,具有微米級(jí)行程、納米級(jí)精度的微定位平臺(tái)是重要的支撐技術(shù)。柔順機(jī)構(gòu)無(wú)間隙、免裝配,可以消除回程誤差,是微定位平臺(tái)的重要實(shí)現(xiàn)形式。同時(shí)實(shí)現(xiàn)大行程與高精度是柔順微定位平臺(tái)的研究熱點(diǎn)與難點(diǎn)。本文提出一種可以平衡柔順機(jī)構(gòu)在行程與精度間矛盾的混合柔順鉸鏈,進(jìn)而對(duì)基于新型鉸鏈的平面三自由度微定位平臺(tái)進(jìn)行研究,主要內(nèi)容如下。首先,提出一種兼顧直圓柔順鉸鏈與直梁柔順鉸鏈優(yōu)點(diǎn)的混合型柔順鉸鏈,并對(duì)其進(jìn)行靜力學(xué)分析與優(yōu)化設(shè)計(jì)�；诳ㄊ系诙ɡ硗茖�(dǎo)了混合鉸鏈的柔度公式,進(jìn)而計(jì)算了混合鉸鏈的輸出位移,并與有限元仿真的輸出位移相比較,發(fā)現(xiàn)兩者之間具有較大的誤差。因此,將有限元仿真得到混合鉸鏈在各個(gè)方向的輸出位移,運(yùn)用擬合的方法得到了混合鉸鏈的柔度公式。結(jié)果表明,運(yùn)用擬合的方法得到混合鉸鏈的柔度公式來(lái)計(jì)算得到的輸出位移與仿真的輸出位移具有很小的誤差。將混合鉸鏈、直圓鉸鏈與直梁鉸鏈進(jìn)行比較,結(jié)果表明,混合鉸鏈較直圓鉸鏈的回轉(zhuǎn)位移大;混合鉸鏈較直梁鉸鏈的回轉(zhuǎn)精度高。建立尺寸優(yōu)化的數(shù)學(xué)模型,運(yùn)用MATLAB對(duì)混合鉸鏈進(jìn)行尺寸優(yōu)化,得到了混合鉸鏈的最佳尺寸。接著,對(duì)基于新型混合柔順鉸... 

【文章來(lái)源】：佛山科學(xué)技術(shù)學(xué)院廣東省

【文章頁(yè)數(shù)】：73 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

圖1-1雙曲桿型空心2008年，宗光華等[26]

圖 1-1 雙曲桿型空心2008 年，宗光華等[26]設(shè)計(jì)出了一種新型的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)能夠輸出毫米級(jí)的行程，并且具有非常小的耦合位移，小于近些年來(lái)，出現(xiàn)了各種不同用途的柔順并聯(lián)機(jī)構(gòu)。研究者們對(duì)三自由度柔順并聯(lián)27,28]和六自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu)間、提高運(yùn)動(dòng)精度和靈敏性、降低制造成本雙曲桿型空心柔順鉸鏈[24]圖 1-2 分布式葉片形轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)計(jì)出了一種新型的柔順直線導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，如圖導(dǎo)向機(jī)構(gòu)能夠輸出毫米級(jí)的行程，并且具有非常小的耦合位移，小于圖 1-3 柔順直線導(dǎo)向機(jī)構(gòu)[26][29,30]的研究最為活躍，并且也取得了許多成果。間、提高運(yùn)動(dòng)精度和靈敏性、降低制造成本受到諸多學(xué)者的青睞，因此分布式葉片形轉(zhuǎn)動(dòng)柔順鉸鏈[25]直線導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，如圖 1-3 所示。該1μm。也取得了許多成果。增加工受到諸多學(xué)者的青睞，因此成為諸多

圖 1-2 所示，這種雙曲桿型空心光華等[26]設(shè)計(jì)出了一種新型的夠輸出毫米級(jí)的行程，并且具有非常小的耦合位移，小于所示，這種鉸鏈?zhǔn)抢昧饲�簧片來(lái)構(gòu)建，能夠輸雙曲桿型空心柔順鉸鏈[24]圖 1-2 分布式葉片形轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)計(jì)出了一種新型的柔順直線導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，如圖夠輸出毫米級(jí)的行程，并且具有非常小的耦合位移，小于利用了曲線簧片來(lái)構(gòu)建，能夠輸分布式葉片形轉(zhuǎn)動(dòng)直線導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，如圖 1


本文編號(hào)：3324720