液晶顯示行業(yè)對于高純銅濺射靶材濺射效率及沉積薄膜均勻性要求不斷提升,對于高純銅濺射靶材的晶粒細化、均勻性要求也越來越高。本文通過高純銅靶坯鍛打、熱處理、冷軋與熱處理四步法試驗,通過兩次動態(tài)再結(jié)晶、靜態(tài)再結(jié)晶,從而達到晶粒細化、均勻化的目的,以此優(yōu)化現(xiàn)有工藝。通過熱力模擬試驗,研究了高純銅的高溫行為,研究表明,溫度達到500℃時出現(xiàn)明顯的動態(tài)再結(jié)晶行為,變形量超過70%,細化作用趨緩。以此理論指導(dǎo),本文設(shè)計了四步法加工工藝,具體為:鍛打的溫度范圍控制為490℃⁵00℃,變形量控制在80%以上;一次熱處理:200℃³10℃,保溫時長:30min⁹0min;冷軋為單向軋制,變形量控制在56%⁷2%;二次熱處理:≥200℃,保溫時長:≥60min。高純銅一次細化工藝,由鍛打和熱處理兩步組成,通過采用溫度500℃、變形量80%的鍛打工藝,使晶粒細化至50μm⁷0μm;通過保溫溫度210℃³10℃、保溫時間30min⁹0min的一次熱處理工藝再次... 

【文章來源】：哈爾濱工業(yè)大學(xué)黑龍江省 211工程院校 985工程院校

【文章頁數(shù)】：87 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
ABSTRACT
第1章 緒論
    1.1 課題背景及研究的目的和意義
    1.2 金屬材料再結(jié)晶與晶粒細化
        1.2.1 金屬材料的動態(tài)再結(jié)晶行為
        1.2.2 金屬材料的靜態(tài)再結(jié)晶行為
    1.3 銅與銅合金再結(jié)晶與晶粒細化
        1.3.1 銅合金再結(jié)晶與晶粒細化工藝
        1.3.2 純銅再結(jié)晶與晶粒細化工藝
    1.4 本文的主要研究內(nèi)容
第2章 試驗材料與試驗方法
    2.1 技術(shù)路線
    2.2 試驗材料
    2.3 試驗所需儀器設(shè)備
    2.4 試驗方案
        2.4.1 銅熱壓縮及動態(tài)再結(jié)晶研究方案
        2.4.2 銅變形退火下的靜態(tài)再結(jié)晶行為研究方案
第3章 高純銅熱變形行為及再結(jié)晶工藝設(shè)計
    3.1 引言
    3.2 高純銅熱變形行為
        3.2.1 熱變形參數(shù)的影響
        3.2.2 加工硬化行為
        3.2.3 高純銅的軟化
        3.2.4 流變應(yīng)力本構(gòu)方程
    3.3 高純銅動態(tài)再結(jié)晶的金相分析
        3.3.1 變形溫度對于動態(tài)再結(jié)晶的作用
        3.3.2 變形量對動態(tài)再結(jié)晶的影響
    3.4 高純銅晶粒細化工藝設(shè)計
        3.4.1 熱變形后再結(jié)晶工藝參數(shù)
        3.4.2 冷變形后再結(jié)晶工藝參數(shù)
    3.5 本章小結(jié)
第4章 熱變形后再結(jié)晶退火對高純銅晶粒尺寸的影響
    4.1 熱變形及再結(jié)晶退火試驗設(shè)計
        4.1.1 鍛打試驗設(shè)計
        4.1.2 鍛打后熱處理試驗設(shè)計
    4.2 熱變形組織分析
    4.3 熱處理組織分析
    4.4 本章小結(jié)
第5章 冷變形后再結(jié)晶退火對高純銅晶粒尺寸的影響
    5.1 引言
    5.2 冷變形工藝對組織的影響
    5.3 冷變形后熱處理工藝對組織的影響
    5.4 LCD大型銅靶生產(chǎn)工藝驗證
        5.4.1 LCD大型銅靶晶粒細化生產(chǎn)工藝設(shè)計及實施
        5.4.2 LCD大型銅靶晶粒度驗證
    5.5 本章小結(jié)
結(jié)論
參考文獻
致謝
個人簡歷


【參考文獻】：
期刊論文
[1]Cu-3.2Ni-0.75Si合金再結(jié)晶行為研究[J]. 宋江,王迎鮮,黨景波,段超.  熱加工工藝. 2016(18)
[2]BFe10-1-1銅合金的熱壓縮本構(gòu)方程[J]. 劉建波,寧愛林,劉順同.  邵陽學(xué)院學(xué)報(自然科學(xué)版). 2016(02)
[3]層錯能對銅合金室溫變形及退火過程中晶粒細化的影響[J]. 李祎,張祥凱,何克堅,楊續(xù)躍.  中國有色金屬學(xué)報. 2016(01)
[4]Cu-Ag合金的冷加工硬化及再結(jié)晶溫度[J]. 馬吉苗,汪東亞,鄭蕓,劉峰,沈驥,彭麗軍.  特種鑄造及有色合金. 2015(09)
[5]高強度Fe-Co軟磁合金熱處理工藝研究[J]. 韓勁,倪志銘,燕紹九.  金屬熱處理. 2015(03)
[6]汽車用高強度鋼在退火過程中的再結(jié)晶行為及組織分析[J]. 韓風(fēng).  鑄造技術(shù). 2014(11)
[7]轉(zhuǎn)速對銅材連續(xù)擠壓產(chǎn)品組織性能的影響[J]. 陳莉,裴久楊,劉元文,宋寶韞.  鍛壓技術(shù). 2014(04)
[8]霍尼韋爾推出新型半導(dǎo)體銅錳濺射靶材[J].   電子設(shè)計工程. 2014(07)
[9]熱加工參數(shù)對GH738合金動態(tài)再結(jié)晶行為的影響[J]. 劉輝,蔡新宇.  鋼鐵研究學(xué)報. 2014(03)
[10]塊體純銅的多尺寸晶�；旌辖Y(jié)構(gòu)及力學(xué)性能[J]. 范愛玲,張姍,黃浪,丁艷鳳,李輝.  稀有金屬. 2013(05)

博士論文
[1]深度塑性形變對鎂合金微觀組織和強塑性影響研究[D]. 羅小萍.太原科技大學(xué) 2013
[2]大變形異步疊軋與熱處理調(diào)控超細晶銅組織結(jié)構(gòu)與性能研究[D]. 周蕾.昆明理工大學(xué) 2013

碩士論文
[1]超細晶銅合金制備工藝與性能表征[D]. 徐宇超.哈爾濱工程大學(xué) 2016
[2]強磁場下純銅板的再結(jié)晶組織與織構(gòu)的形成過程和演變機理[D]. 王艷.東北大學(xué) 2013



本文編號：3197773