為了提升單層硒化鎢（WSe₂）薄膜的制備質(zhì)量,在傳統(tǒng)化學(xué)氣相沉積（CVD）法制備的基礎(chǔ)上進行改進,通過引入推拉式小車來制備單層WSe₂薄膜,從而構(gòu)造出可以調(diào)控沉積區(qū)域、精確控制生長時間,并可實現(xiàn)快速降溫的生長方式。采用光學(xué)顯微鏡和原子力顯微鏡來表征制備材料的尺寸、熒光強度、形貌結(jié)構(gòu)等特性,證明了利用推拉式小車法可成功制備出高質(zhì)量的單層WSe₂薄膜。推拉式小車法可以穩(wěn)定制備大面積、高質(zhì)量、單層的WSe₂薄膜,為其在信息、能源、生物等前沿領(lǐng)域的應(yīng)用提供參考。 

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【參考文獻】：
期刊論文
[1]有機或金屬-有機二維納米材料的制備與應(yīng)用（英文）[J]. 李紹周,黃曉,張華.  化學(xué)學(xué)報. 2015(09)



本文編號：3703833