非球面光學元件是現(xiàn)代大型光學系統(tǒng)重要的組成部分,隨著光學技術的發(fā)展,光學系統(tǒng)對各種面形的高精度光學元件的需求日益增加。柱面便是其中一種特殊的二次曲面。柱面在子午和弧矢方向的光焦度不同,能夠?qū)崿F(xiàn)特殊的成像,在光束整形領域有著獨一無二的作用。目前,高精度柱面的實際應用還十分有限,主要原因在于高精度柱面的面形檢測十分困難,這使得高精度柱面的加工陷入瓶頸。本論文主要的工作內(nèi)容是研究大口徑凹圓柱面的檢測技術,這是一種以計算全息法為檢測手段,通過拼接的方式檢測大口徑凹圓柱面反射鏡的高精度面形檢測方法。該檢測方法可以實現(xiàn)一套光路設備檢測一定范圍內(nèi)任意曲率半徑的凹圓柱面鏡,無需單獨設計,可降低檢測成本。本論文研究工作的主要任務是解決大口徑凹圓柱面計算全息設計的理論和技術問題,研究計算全息檢測圓柱面圖像的一維拼接,發(fā)展一種檢測大口徑凹圓柱面鏡的方法。論文的的研究工作包括以下幾個部分。1介紹了現(xiàn)有的非球面檢測方法及其特點,對該方法在傳統(tǒng)非球面使用情況進行調(diào)研,分析其優(yōu)勢和局限性,選擇適用于柱面檢測的方法作為研究方向,為后續(xù)研究奠定基礎。2闡述了計算全息的工作原理,分析使用計算全息檢測圓柱面需要對全息片和光...

【文章頁數(shù)】：68 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖１．４：法線入射法測量柱面的示意圖．??

涉圖通常為扇形或環(huán)形，測量結(jié)果不能直觀地反映出被測柱面的面形輪廓誤差，??需要進一步將測量數(shù)據(jù)展開成矩形分布。??法線入射法，顧名思義，測量光路沿著被測面形的法線方向入射如圖１．４所??示，可直接獲得輪廓沿其法線方向的偏差ＰＷ。法線入射法檢測柱面采用一塊零??位補償器（如計算全息....

圖1.13CGH檢測主次鏡面形與位置精度ReneZehnder等人[34]研制出了具有光路對準功能的CGH，從而實現(xiàn)了面形測

國防科技大學研究生院博士學位論文第11頁圖1.13CGH檢測主次鏡面形與位置精度ReneZehnder等人[34]研制出了具有光路對準功能的CGH，從而實現(xiàn)了面形測量過程中CGH和待測鏡的精確裝調(diào)。長春光學精密機械與物理研究所的張學軍等人設計了一種CGH[53]可以同時檢測主鏡與....

圖1.14利用CGH檢

國防科技大學研究生院博士學位論文第11頁圖1.13CGH檢測主次鏡面形與位置精度ReneZehnder等人[34]研制出了具有光路對準功能的CGH，從而實現(xiàn)了面形測量過程中CGH和待測鏡的精確裝調(diào)。長春光學精密機械與物理研究所的張學軍等人設計了一種CGH[53]可以同時檢測主鏡與....

圖2CGH干涉法測量柱面鏡原理圖

射產(chǎn)生的影響較大。在這三類誤差中，軸向的法向量分量n‖‖‖是改變X射線傳播方向，使其偏離聚焦位置的主要因素，因此軸向面形誤差對系統(tǒng)的聚焦性能影響最大[10]，因此，在實際過程中，一般只需要測量軸向誤差，實現(xiàn)柱面鏡的快速測量與性能評價。2柱面鏡檢測方法和表征指標采用基于計算全息的零....

本文編號：3899331