應用廣泛的透明導電氧化物薄膜ITO和AZO一直備受人們的關(guān)注,雖然ITO薄膜電學性能優(yōu)異,但是在近紅外區(qū)透過率較低,限制了其在紅外技術(shù)中的應用;AZO薄膜在近紅外區(qū)透過率很高,但電學性能和ITO相比相差較大。為了得到近紅外區(qū)域透過率高且電學性能優(yōu)良的導電薄膜,本文采用磁控濺射技術(shù)在玻璃襯底上制備了 ITO/AZO薄膜,測試結(jié)果表明,薄膜的光電性能優(yōu)良。一、ITO/AZO周期膜的制備與性能研究:利用ITO和AZO共同起輝,制備了結(jié)構(gòu)為（AB）n型的周期膜,其中,A為ITO,B為AZO,n為周期數(shù)。通過控制襯底在各靶前停留時間控制單層膜的厚度,通過控制襯底在腔體中旋轉(zhuǎn)的周期控制薄膜總厚度,研究了單層膜厚、總厚度和周期數(shù)對ITO/AZO周期膜性能的影響:（1）研究了單層膜厚對ITO/AZO周期膜性能的影響,此時薄膜總厚度為200nm,周期 n=20,dA+dB 分別為 8nm+2nm、6nm+4nm、5nm+5nm、4nm+6nm、2nm+8nm。ITO/AZO周期膜的測試結(jié)果表明:在周期膜層中,當AZO層厚度較薄時,ITO/AZO周期膜生長取向為In2O3的（222）方向,隨著AZO層膜厚... 

【文章來源】：山東大學山東省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：75 頁

【學位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
ABSTRACT
符號說明
第一章 緒論
    1.1 引言
    1.2 透明導電氧化物薄膜的研究現(xiàn)狀
        1.2.1 ITO透明導電氧化物薄膜
        1.2.2 AZO透明導電氧化物薄膜
    1.3 透明導電氧化物薄膜的應用
        1.3.1 TCO薄膜在電容式觸摸屏中的應用
        1.3.2 TCO薄膜在太陽能電池中的應用
    1.4 透明導電氧化物薄膜的制備技術(shù)
        1.4.1 真空蒸發(fā)鍍膜
        1.4.2 濺射鍍膜
        1.4.3 脈沖激光沉積
        1.4.4 化學氣相沉積
    1.5 紅外透明導電氧化物薄膜的研究現(xiàn)狀
        1.5.1 摻鎢氧化銦(IWO)薄膜
        1.5.2 摻鋯氧化銦(IZO)薄膜
        1.5.3 其他紅外透明導電氧化物薄膜
    1.6 本論文的主要工作
第二章 薄膜制備及表征方法
    2.1 射頻磁控濺射設備及原理
        2.1.1 射頻磁控濺射原理
        2.1.2 實驗儀器介紹
    2.2 薄膜的制備
        2.2.1 襯底清洗
        2.2.2 樣品制備
    2.3 表征方法及原理
        2.3.1 薄膜厚度
        2.3.2 薄膜結(jié)構(gòu)特性
        2.3.3 薄膜形貌特性
        2.3.4 薄膜電學性能
        2.3.5 薄膜光學特性
第三章 周期性ITO/AZO薄膜的制備及性能研究
    3.1 周期性ITO/AZO薄膜的制備
    3.2 單層膜厚對ITO/AZO周期膜性能的影響
        3.2.1 單層膜厚對ITO/AZO周期膜結(jié)構(gòu)特性的影響
        3.2.2 單層膜厚對ITO/AZO周期膜形貌特性的影響
        3.2.3 單層膜厚對ITO/AZO周期膜電學特性的影響
        3.2.4 單層膜厚對ITO/AZO周期膜光學特性的影響
    3.3 總厚度對ITO/AZO周期膜性能的影響
        3.3.1 總厚度對ITO/AZO周期膜結(jié)構(gòu)特性的影響
        3.3.2 總厚度對ITO/AZO周期膜形貌特性的影響
        3.3.3 總厚度對ITO/AZO周期膜電學特性的影響
        3.3.4 總厚度對ITO/AZO周期膜光學特性的影響
    3.4 周期數(shù)對ITO/AZO多層膜性能的影響
        3.4.1 周期數(shù)對ITO/AZO周期膜結(jié)構(gòu)特性的影響
        3.4.2 周期數(shù)對ITO/AZO周期膜形貌特性的影響
        3.4.3 周期數(shù)對ITO/AZO周期膜電學特性的影響
        3.4.4 周期數(shù)對ITO/AZO周期膜光學特性的影響
    3.5 本章小結(jié)
第四章 ITO/AZO復合膜的制備及性能研究
    4.1 ITO/AZO復合膜的制備
    4.2 ITO/AZO復合膜的性能研究
        4.2.1 結(jié)構(gòu)特性
        4.2.2 形貌特性
        4.2.3 電學特性
        4.2.4 光學特性
    4.3 本章小結(jié)
第五章 結(jié)論
    5.1 主要結(jié)果
    5.2 主要創(chuàng)新點
參考文獻
致謝
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【參考文獻】：
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本文編號：3504684