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基于硅基光波導(dǎo)的雙Fano諧振研究

發(fā)布時(shí)間:2021-10-09 16:06
  Fano諧振具有尖銳不對(duì)稱的響應(yīng)譜線,來源于離散態(tài)與連續(xù)態(tài)在一定相位條件下的疊加混合,是在光學(xué)傳感、光學(xué)調(diào)制、非線性光學(xué)等領(lǐng)域中具有競爭力的應(yīng)用選擇。長期以來,對(duì)于單Fano諧振的研究已經(jīng)在各個(gè)領(lǐng)域內(nèi)開展,但截止目前對(duì)于多/雙Fano諧振的研究仍局限于原子物理和等離子體激元系統(tǒng)中�;诮^緣體上硅(SOI)材料的硅基光子學(xué)因其兼容微電子工業(yè)中的互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)工藝及其它諸多優(yōu)勢(shì)而成為光學(xué)領(lǐng)域中的研究重點(diǎn)。為研究光電集成領(lǐng)域中的多/雙Fano諧振,利用硅基光波導(dǎo)對(duì)雙Fano諧振器件的設(shè)計(jì)和驗(yàn)證便尤為重要。本文第一次以硅基光波導(dǎo)為基礎(chǔ)設(shè)計(jì)并實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了可獨(dú)立調(diào)諧的雙Fano諧振器件。該器件由一個(gè)U形反饋波導(dǎo)和并排嵌入其中的半徑略異的兩個(gè)微環(huán)諧振器組成,只經(jīng)過微環(huán)諧振器的光形成兩個(gè)尖銳的離散態(tài)光束,經(jīng)過設(shè)定損耗下的反饋波導(dǎo)與微環(huán)所構(gòu)成大諧振腔的光形成波形平坦的連續(xù)態(tài)光束,不同的光束在同一個(gè)輸出端發(fā)生疊加,最終形成具有兩個(gè)尖銳不對(duì)稱諧振峰的雙Fano諧振。根據(jù)傳輸矩陣法,本文中給出了器件的理論模型,并采用CMOS工藝完成了器件制作。測(cè)試結(jié)果表明,該器件產(chǎn)生的Fano諧振非常尖銳,消... 

【文章來源】:蘭州大學(xué)甘肅省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】:72 頁

【學(xué)位級(jí)別】:碩士

【文章目錄】:
摘要
Abstract
第一章 緒論
    1.1 引言
    1.2 Fano諧振形成機(jī)制
    1.3 Fano諧振的研究背景
        1.3.1 單Fano諧振研究進(jìn)展
        1.3.2 雙Fano諧振研究現(xiàn)狀
    1.4 本論文研究內(nèi)容
        1.4.1 研究目的
        1.4.2 研究內(nèi)容
        1.4.3 創(chuàng)新點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)
第二章 器件結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)理論
    2.1 引言
    2.2 硅基光波導(dǎo)
    2.3 硅基波導(dǎo)傳輸特性
        2.3.1 基本傳輸特性
        2.3.2 波導(dǎo)耦合理論
    2.4 微環(huán)諧振器
        2.4.1 基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)
        2.4.2 基本參量
        2.4.3 主要功能
        2.4.4 理論建模方法
    2.5 硅基光波導(dǎo)調(diào)制機(jī)制
        2.5.1 熱光調(diào)制
        2.5.2 電光調(diào)制
    2.6 本章小結(jié)
第三章 基于U形反饋波導(dǎo)的雙Fano諧振研究
    3.1 引言
    3.2 雙Fano諧振器件
        3.2.1 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
        3.2.2 理論模型
        3.2.3 器件制作
    3.3 雙Fano諧振器件測(cè)試與分析
        3.3.1 傳輸特性測(cè)試
        3.3.2 獨(dú)立可調(diào)諧性能測(cè)試
        3.3.3 連續(xù)態(tài)相位調(diào)制分析
    3.4 器件結(jié)構(gòu)優(yōu)化研究
    3.5 本章小結(jié)
第四章 結(jié)合馬赫增德爾結(jié)構(gòu)的雙Fano諧振研究
    4.1 引言
        4.1.1 馬赫增德爾結(jié)構(gòu)
        4.1.2 傳輸特性譜線
    4.2 結(jié)合馬赫增德爾結(jié)構(gòu)的單Fano諧振器件
        4.2.1 器件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
        4.2.2 可調(diào)諧性能分析
    4.3 結(jié)合馬赫增德爾結(jié)構(gòu)的雙Fano諧振器件
        4.3.1 器件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
        4.3.2 可調(diào)諧性能分析
    4.4 本章小結(jié)
第五章 結(jié)論與展望
    5.1 主要結(jié)論
    5.2 研究展望
參考文獻(xiàn)
在學(xué)期間的研究成果
致謝



本文編號(hào):3426692

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