填充床電極反應(yīng)器電沉積銅的影響因素實(shí)驗(yàn)研究
【文章頁數(shù)】:69 頁
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【部分圖文】:
圖3-1不同流動(dòng)方式的掃描電鏡圖
唯一不同的是其是在動(dòng)態(tài)條件下,由恒流蠕動(dòng)泵以0.6L/h的流速下補(bǔ)充電解液的方式電沉積銅。由以上兩圖對(duì)比可知,圖(b)在動(dòng)態(tài)條件下電沉積銅的晶體表面堆積較緊密,電沉積效果明顯,去除銅的去除率較高。電沉積是經(jīng)過化學(xué)氧化還原反應(yīng)實(shí)現(xiàn)的,由化學(xué)平衡常數(shù)的特性也可知?jiǎng)討B(tài)條件下補(bǔ)充銅離....
圖3-2不同電沉積時(shí)間的掃描電鏡圖
且隨著電沉積時(shí)間的延長,鍍層厚度逐漸增加,銅顆粒的外觀尺明顯增大,致密度也明顯提高。圖3-2(a)的銅鍍層分布較疏松,團(tuán)聚現(xiàn)象不明顯,但圖3-2(c)其電沉積效果十分明顯,且銅鍍層致密度高。3.1.3不同流速的對(duì)比
圖3-3不同流速的掃描電鏡圖
且隨著電沉積時(shí)間的延長,鍍層厚度逐漸增加,銅顆粒的外觀尺寸明顯增大,致密度也明顯提高。圖3-2(a)的銅鍍層分布較疏松,團(tuán)聚現(xiàn)象不明顯,但圖3-2(c)其電沉積效果十分明顯,且銅鍍層致密度高。3.1.3不同流速的對(duì)比
圖3-4不同電壓的掃描電鏡圖
(a)4V(b)6V圖3-4不同電壓的掃描電鏡圖Figure3-4TheSEMofthedifferentvoltage圖3-4為不同操作電壓下電沉積銅的掃描電鏡圖,均放大2000倍。其操作條件為靜態(tài)電沉積,銅離子濃度5g/L,電沉積時(shí)間為2h。由....
本文編號(hào):3983697
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