長(zhǎng)期以來,半導(dǎo)體制造行業(yè)的發(fā)展一直受到產(chǎn)能規(guī)劃難題的制約,而產(chǎn)能規(guī)劃存在問題復(fù)雜、制約因素多、目標(biāo)多樣化等難題,在系統(tǒng)設(shè)計(jì)和應(yīng)用中需要妥善考慮這些因素。擴(kuò)散區(qū)作為Y半導(dǎo)體公司生產(chǎn)晶圓的重要環(huán)節(jié),是保證晶圓生產(chǎn)數(shù)量和生產(chǎn)質(zhì)量的重要區(qū)域。而擴(kuò)散區(qū)機(jī)臺(tái)價(jià)格昂貴,整體運(yùn)行需要精確的調(diào)試,才能保證設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行。而如何對(duì)機(jī)臺(tái)進(jìn)行適當(dāng)調(diào)試,實(shí)現(xiàn)設(shè)備產(chǎn)能的最大化,是Y半導(dǎo)體公司未來運(yùn)營發(fā)展中的重要工作,也是半導(dǎo)體行業(yè)保證生產(chǎn)效率和生產(chǎn)周期的重要研究方向。本文以六西格瑪管理理論為基礎(chǔ),結(jié)合DMAIC和OEE方法對(duì)Y半導(dǎo)體公司擴(kuò)散區(qū)產(chǎn)能進(jìn)行提升研究。首先,對(duì)半導(dǎo)體擴(kuò)散區(qū)晶圓和硅片的生產(chǎn)過程進(jìn)行介紹,明確晶圓的生產(chǎn)流程以及NITRIDE在晶圓生產(chǎn)過程中的作用。同時(shí),從設(shè)備利用率角度對(duì)當(dāng)前Y半導(dǎo)體公司擴(kuò)散區(qū)的產(chǎn)能問題進(jìn)行了界定,結(jié)合OEE方法,從時(shí)間開動(dòng)率、性能開動(dòng)率以及產(chǎn)品合格率三個(gè)方面對(duì)半導(dǎo)體擴(kuò)散區(qū)產(chǎn)能問題進(jìn)行測(cè)量。在這個(gè)階段,重點(diǎn)指出了影響時(shí)間開動(dòng)率的因素在于反應(yīng)舟腔的表面微粒沉積問題,性能開動(dòng)率的影響因素在于原有的性能開動(dòng)率算法不夠完善,而產(chǎn)品合格率的影響因素也是由于表面微粒沉積引起的連鎖反應(yīng)。其次,... 

【文章來源】：大連理工大學(xué)遼寧省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：58 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
1 緒論
    1.1 研究背景和意義
        1.1.1 研究背景
        1.1.2 研究意義
    1.2 國內(nèi)外研究現(xiàn)狀
        1.2.1 國外研究現(xiàn)狀
        1.2.2 國內(nèi)研究現(xiàn)狀
    1.3 研究?jī)?nèi)容和方法
        1.3.1 研究?jī)?nèi)容
        1.3.2 研究方法
        1.3.3 研究思路
    1.4 本章小結(jié)
2 基于六西格瑪?shù)陌雽?dǎo)體擴(kuò)散區(qū)設(shè)備產(chǎn)能定義與測(cè)量
    2.1 六西格瑪管理流程
        2.1.1 六西格瑪?shù)膽?yīng)用原則
        2.1.2 六西格瑪?shù)膽?yīng)用工具
    2.2 擴(kuò)散區(qū)簡(jiǎn)介
    2.3 定義問題階段(D)
        2.3.1 半導(dǎo)體擴(kuò)散區(qū)產(chǎn)品生成過程
        2.3.2 半導(dǎo)體擴(kuò)散區(qū)產(chǎn)能問題界定
    2.4 測(cè)量階段(M)
        2.4.1 時(shí)間開動(dòng)率
        2.4.2 性能開動(dòng)率
        2.4.3 產(chǎn)品合格率
    2.5 本章小結(jié)
3 基于六西格瑪?shù)陌雽?dǎo)體擴(kuò)散區(qū)設(shè)備產(chǎn)能分析提升與控制
    3.1 分析(A)與提升(I)階段
        3.1.1 時(shí)間開動(dòng)率分析與提升
        3.1.2 性能開動(dòng)率分析與提升
        3.1.3 產(chǎn)品合格率分析與提升
    3.2 控制階段(C)
        3.2.1 提高單位時(shí)間最大產(chǎn)出量
        3.2.2 派工和到站預(yù)測(cè)控制
        3.2.3 提高設(shè)備利用率
    3.3 本章小結(jié)
4 基于六西格瑪?shù)陌雽?dǎo)體擴(kuò)散區(qū)產(chǎn)能應(yīng)用實(shí)踐與提升效果
    4.1 應(yīng)用實(shí)踐分析
        4.1.1 時(shí)間開動(dòng)率環(huán)節(jié)的應(yīng)用
        4.1.2 性能開動(dòng)率環(huán)節(jié)的應(yīng)用
        4.1.3 產(chǎn)品合格率環(huán)節(jié)的應(yīng)用
    4.2 提升效果分析
        4.2.1 時(shí)間開動(dòng)率有效提升
        4.2.2 性能開動(dòng)率有效提升
        4.2.3 產(chǎn)品合格率有效提升
        4.2.4 整體產(chǎn)能提升
    4.3 本章小結(jié)
結(jié)論
參考文獻(xiàn)
致謝


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]精益六西格瑪在半導(dǎo)體材料生產(chǎn)線中的應(yīng)用[J]. 蔡麗艷,郝玉清,安瑞陽,趙偉,劉佐星,劉云霞,鄭捷,趙而敬,徐繼平.  價(jià)值工程. 2018(31)
[2]半導(dǎo)體涂膠顯影機(jī)產(chǎn)能分析[J]. 祁峰.  中國新技術(shù)新產(chǎn)品. 2018(05)
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[9]基于增長(zhǎng)修剪型神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的半導(dǎo)體生產(chǎn)線動(dòng)態(tài)瓶頸分析方法[J]. 曹政才,邱明輝,劉民.  電子學(xué)報(bào). 2016(07)
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碩士論文
[1]六西格瑪質(zhì)量管理在K企業(yè)的應(yīng)用研究[D]. 曹景淼.北京化工大學(xué) 2017
[2]數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)半導(dǎo)體生產(chǎn)線多性能指標(biāo)預(yù)測(cè)方法[D]. 趙婷婷.北京化工大學(xué) 2017
[3]Job Shop類柔性制造系統(tǒng)生產(chǎn)能力配置方法研究及系統(tǒng)研制[D]. 馬屹寰.西南交通大學(xué) 2017
[4]半導(dǎo)體封裝測(cè)試企業(yè)生產(chǎn)計(jì)劃建模及優(yōu)化研究[D]. 吳佳良.蘇州大學(xué) 2017
[5]半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)的瓶頸管理及調(diào)度優(yōu)化研究[D]. 賈林林.天津理工大學(xué) 2017
[6]F半導(dǎo)體公司應(yīng)用六西格瑪理論對(duì)測(cè)試良品率的改進(jìn)[D]. 賀康.天津大學(xué) 2016
[7]中芯國際成都封裝測(cè)試廠設(shè)備綜合效率系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)[D]. 隆海.電子科技大學(xué) 2016
[8]MES環(huán)境下A半導(dǎo)體公司設(shè)備管理優(yōu)化研究[D]. 蔡衛(wèi)東.華東理工大學(xué) 2016
[9]基于連續(xù)生產(chǎn)的S公司測(cè)試工序產(chǎn)能提升研究[D]. 吳廣.華東理工大學(xué) 2016
[10]六西格瑪管理在半導(dǎo)體制造業(yè)中的應(yīng)用[D]. 陳泉.天津大學(xué) 2013



本文編號(hào)：3459453