【摘要】：晶圓訂單的交貨期預測對于保證訂單交付的準時性和平順性,具有重要的意義。然而,晶圓制造中的在制品數量多、生產周期長的特點加劇了交貨期預測的復雜性。基于海量晶圓制造數據,設計回歸模型來對1669個晶圓加工過程參數與訂單交貨期指標之間的關聯(lián)關系進行分析,并采用費舍爾Z變換篩選得到強相關變量,對所得到的強相關變量采用案例推理方法實現(xiàn)了晶圓制造訂單交貨期的精準預測。
[Abstract]:The prediction of the delivery time of wafer orders is of great significance to ensure the punctuality and smoothness of order delivery. However, the large number of WIP in wafer manufacturing and the long production cycle increase the complexity of delivery date prediction. Based on the mass wafer manufacturing data, a regression model is designed to analyze the correlation between 1669 wafer machining process parameters and order delivery date, and strong correlation variables are obtained by Fisher Z transform. The Case-based reasoning (CBR) method is used to predict the delivery time of wafer manufacturing orders.
【作者單位】： 上海交通大學;
【基金】：國家自然科學基金資助重點項目(51435009)
【分類號】：F274;F407.6;TP311.13

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本文編號：2148562