隨著光刻系統(tǒng)復(fù)雜程度的提升,傳統(tǒng)基于文檔的系統(tǒng)開發(fā)方法,在保持設(shè)計(jì)文檔間一致性及變更影響分析的困難程度也越發(fā)提升。特別是光刻系統(tǒng)涉及不同學(xué)科的工程模型,這些模型在文檔載體中,不能完整得體現(xiàn)整個(gè)系統(tǒng)模型的設(shè)計(jì)結(jié)果。故本文采用基于模型的系統(tǒng)工程MBSE開發(fā)方法建立數(shù)字系統(tǒng)模型彌補(bǔ)傳統(tǒng)方法存在的問題。文中采用的建模語(yǔ)言為SysML、使用Cameo System Modeler作為開發(fā)工具。以光刻系統(tǒng)中的校準(zhǔn)模塊為例,描述了MBSE在光刻系統(tǒng)校準(zhǔn)仿真中的應(yīng)用。

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【文章目錄】：
1 概述
2 OOSEM開發(fā)流程
3 光刻系統(tǒng)的校準(zhǔn)仿真
    3.1 運(yùn)動(dòng)臺(tái)旋轉(zhuǎn)中心校準(zhǔn)。
    3.2 建模配置。
    3.3分析干系人要求
        3.3.1場(chǎng)景分析流程。
        3.3.2建立場(chǎng)景域 (無(wú)流定義) 。
        3.3.3創(chuàng)建用例。
        3.3.4建立交互場(chǎng)景。
        3.3.5建立場(chǎng)景域 (含流定義) 。
        3.3.6系統(tǒng)接口與流定義。
        3.3.7 校準(zhǔn)模塊黑盒。
        3.3.8 校準(zhǔn)模塊參數(shù)分析。
4 結(jié)論



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