柔性結(jié)構(gòu)的多輸入多輸出（Multiple input multiple output,MIMO）運(yùn)動系統(tǒng)的辨識方法是一個(gè)具有理論研究和工程應(yīng)用價(jià)值的問題。隨著運(yùn)動系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、控制性能等要求不斷提高,過去視為剛體的MIMO運(yùn)動系統(tǒng)的柔性動力學(xué)特征將越來越顯著,成為限制系統(tǒng)性能的重要因素。在辨識試驗(yàn)獲得頻域非參數(shù)模型基礎(chǔ)上,提出一種柔性結(jié)構(gòu)的MIMO運(yùn)動系統(tǒng)辨識方法,基于正交多項(xiàng)式的總體參數(shù)曲線擬合得到同分母的MIMO傳遞函數(shù)矩陣,利用模態(tài)疊加原理以及奇異值分解（Singular value decomposition,SVD）原理得到系統(tǒng)的狀態(tài)空間模型。此方法被應(yīng)用于光刻機(jī)工件臺這一典型的帶有柔性動力學(xué)特征的MIMO運(yùn)動系統(tǒng)。獲得的MIMO狀態(tài)空間模型具有頻域辨識模型同等的辨識精度,證明了提出的辨識方法的有效性。所獲得的模型滿足用于綜合控制設(shè)計(jì)的要求。 

【文章來源】：機(jī)械工程學(xué)報(bào). 2016,52(11)北大核心EICSCD

【文章頁數(shù)】：8 頁

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]組合柔性機(jī)械臂動力學(xué)模型參數(shù)識別[J]. 張慶,王華坤,張世琪.  機(jī)械工程學(xué)報(bào). 2009(10)
[2]剛?cè)狁詈舷到y(tǒng)的振動主動控制[J]. 邱志成.  機(jī)械工程學(xué)報(bào). 2006(11)



本文編號：3456641