發(fā)布時間：2020-04-22 01:22

【摘要】：為了獲得高精度的超光滑完美表面,目前對半導體襯底材料的超精密拋光技術仍以磨料加工為主。其中凝膠柔性拋光作為半固結磨料拋光的一種,擁有高效、環(huán)保的綠色制造優(yōu)勢,但海藻酸鈉凝膠基體在加工及存放過程中易出現(xiàn)破損掉落及脫水干裂等問題。雖利用無機化學添加劑可改善凝膠性能及提高磨料把持力,但仍需從凝膠基體本征屬性出發(fā)來進一步解決溶膠凝膠拋光工具的失效問題。本論文針對上述問題,基于凝膠柔性拋光技術,結合各領域內凝膠性能的增強方式研究,選擇合適的海藻酸鈉體系復配凝膠材料及涂覆基材,并調整磨料的粒度和濃度、凝膠厚度等制備工藝參數(shù),以實現(xiàn)單層或多層磨料形式的凝膠拋光墊制備。論文的主要研究內容包括海藻酸鈉體系凝膠拋光墊制備材料的選擇、不同制備工藝參數(shù)對單層磨料噴涂型凝膠拋光墊的磨料分散及附著情況的影響、以及體系變化對凝膠拋光墊的加工效果及磨損情況的影響。通過實驗研究與分析,發(fā)現(xiàn)海藻酸鈉體系的二元復配形式可呈現(xiàn)出功能互補、協(xié)同增效的作用,使凝膠拋光墊的持水能力得到提高;涂覆基材應選擇具有一定網(wǎng)孔結構或編織結構,且表面有適量絨毛的布料,以此提高凝膠與布料的粘附能力,減少凝膠破損掉落;以65mm的噴嘴高度、120rpm的轉盤轉速、12mm/s～60mm/s階梯調速后的滑臺移速、低于0.6mm的凝膠涂覆厚度要求、1wt.%的W5金剛石磨料作為主要的制備工藝參數(shù),可獲得磨料分散均勻性及附著情況良好的單層磨料噴涂型凝膠拋光墊。對比不同體系凝膠拋光墊加工碳化硅襯底,發(fā)現(xiàn)復配體系凝膠拋光墊在干拋下優(yōu)勢明顯,破損脫落現(xiàn)象得到改善;新工具制備體系在濕拋和干拋中都能一定程度降低拋光墊的失效問題,有更好的加工強度。
【圖文】：

圖1.1雙組分復配后的凝膠內部網(wǎng)絡結構

主要研究思路
【學位授予單位】：華僑大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2019
【分類號】：TQ427.26

【參考文獻】

相關期刊論文 前10條

1 鄭鳳濤;朱平;董朝紅;劉杰;王彬;隋淑英;;人發(fā)蛋白/海藻酸鈉共混膜的制備及其性能研究[J];青島大學學報(工程技術版);2015年02期

2 陸靜;羅求發(fā);宋運運;胡光球;徐西鵬;;凝膠結合劑超細金剛石磨粒工具的制備及應用[J];機械工程學報;2015年15期

3 盧星池;鄧放明;肖茜;;干燥條件和增塑劑對海藻酸鈉——羧甲基纖維素鈉膜阻隔性能的影響[J];食品與機械;2014年06期

4 侯團偉;張虹;畢艷蘭;池娟娟;;食品膠體的凝膠機理及協(xié)同作用研究進展[J];食品科學;2014年23期

5 羅秋水;黃月勝;湯凱潔;余瑞龍;洪霓;;甲基纖維素可食膜的制備和增塑劑對其機械性能的影響[J];中國食品學報;2013年10期

6 高丹丹;江連洲;張超;馬越;趙曉燕;;提高多糖類可食性膜機械性能的研究進展[J];食品工業(yè)科技;2012年06期

7 鄧靖;譚興和;劉雨華;蔣世全;胡琪;;增稠劑和交聯(lián)劑對海藻酸鈉膜性能的影響[J];食品研究與開發(fā);2010年10期

8 袁巨龍;張飛虎;戴一帆;康仁科;楊輝;呂冰海;;超精密加工領域科學技術發(fā)展研究[J];機械工程學報;2010年15期

9 趙力超;彭志妮;游曼潔;劉欣;陳永泉;;增塑劑對改性纖維素膜性能的影響及其機理研究[J];食品科學;2010年01期

10 朱火明;蘇珍發(fā);;光電子材料的磨粒加工技術綜述[J];超硬材料工程;2009年06期

，

本文編號：2635966