【摘要】：為了獲得高精度的超光滑完美表面,目前對半導(dǎo)體襯底材料的超精密拋光技術(shù)仍以磨料加工為主。其中凝膠柔性拋光作為半固結(jié)磨料拋光的一種,擁有高效、環(huán)保的綠色制造優(yōu)勢,但海藻酸鈉凝膠基體在加工及存放過程中易出現(xiàn)破損掉落及脫水干裂等問題。雖利用無機化學(xué)添加劑可改善凝膠性能及提高磨料把持力,但仍需從凝膠基體本征屬性出發(fā)來進一步解決溶膠凝膠拋光工具的失效問題。本論文針對上述問題,基于凝膠柔性拋光技術(shù),結(jié)合各領(lǐng)域內(nèi)凝膠性能的增強方式研究,選擇合適的海藻酸鈉體系復(fù)配凝膠材料及涂覆基材,并調(diào)整磨料的粒度和濃度、凝膠厚度等制備工藝參數(shù),以實現(xiàn)單層或多層磨料形式的凝膠拋光墊制備。論文的主要研究內(nèi)容包括海藻酸鈉體系凝膠拋光墊制備材料的選擇、不同制備工藝參數(shù)對單層磨料噴涂型凝膠拋光墊的磨料分散及附著情況的影響、以及體系變化對凝膠拋光墊的加工效果及磨損情況的影響。通過實驗研究與分析,發(fā)現(xiàn)海藻酸鈉體系的二元復(fù)配形式可呈現(xiàn)出功能互補、協(xié)同增效的作用,使凝膠拋光墊的持水能力得到提高;涂覆基材應(yīng)選擇具有一定網(wǎng)孔結(jié)構(gòu)或編織結(jié)構(gòu),且表面有適量絨毛的布料,以此提高凝膠與布料的粘附能力,減少凝膠破損掉落;以65mm的噴嘴高度、120rpm的轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速、12mm/s～60mm/s階梯調(diào)速后的滑臺移速、低于0.6mm的凝膠涂覆厚度要求、1wt.%的W5金剛石磨料作為主要的制備工藝參數(shù),可獲得磨料分散均勻性及附著情況良好的單層磨料噴涂型凝膠拋光墊。對比不同體系凝膠拋光墊加工碳化硅襯底,發(fā)現(xiàn)復(fù)配體系凝膠拋光墊在干拋下優(yōu)勢明顯,破損脫落現(xiàn)象得到改善;新工具制備體系在濕拋和干拋中都能一定程度降低拋光墊的失效問題,有更好的加工強度。
【圖文】：

圖1.1雙組分復(fù)配后的凝膠內(nèi)部網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)

主要研究思路
【學(xué)位授予單位】：華僑大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2019
【分類號】：TQ427.26

【參考文獻】

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