本文針對“神光-Ⅲ”項目中OM2模塊工裝過程中微調機構精就位時的要求,對該微調機構的驅動方法選擇進行了研究對比分析。該微調機構在微調時的負載要求重,精度要求極高,而且在微調過程中所受的摩擦力極大,很容易產生低速爬行現(xiàn)象,故對微調機構驅動方法的選擇有著很大的要求。根據(jù)“神光-Ⅲ”項目中OM2光學組件工裝過程中微調機構對大負載和高精度的要求,確定了電機絲杠驅動、液壓伺服驅動和液壓缸精密單元驅動三種驅動方法的方案,并在MATLAB Simulink中對液壓伺服控制系統(tǒng)的穩(wěn)定性進行了仿真分析。然后分析了三種方法在驅動時能達到的驅動精度,從制造誤差、裝配誤差和使用誤差三個方面對電機絲杠驅動和液壓缸精密單元驅動過程中的傳動誤差和空程誤差進行了分析,從穩(wěn)態(tài)誤差和靜態(tài)誤差兩個方面對液壓控制系統(tǒng)的控制誤差進行了分析。針對微調機構在工裝時驅動速度小、但是摩擦力卻極大的特點,對三種方法在低速驅動時的爬行現(xiàn)象進行了分析,分別提出了絲杠傳動和液壓缸傳動低速爬行的臨界速度計算公式,得到了三種方法的臨界爬行速度;然后在軟件ADAMS和AMESim中建立了三種驅動方法進行OM2組件工裝時微調的簡化模型,對系統(tǒng)的低速爬...

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【學位級別】：碩士

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摘要
Abstract
第1章 緒論
    1.1 課題背景及研究的目的和意義
        1.1.1 課題背景
        1.1.2 課題的目的和意義
    1.2 國內外在相關方向的研究現(xiàn)狀
        1.2.1 微位移驅動技術的研究現(xiàn)狀
        1.2.2 重載驅動技術的研究現(xiàn)狀
        1.2.3 爬行現(xiàn)象的研究現(xiàn)狀
        1.2.4 國內外文獻綜述
    1.3 本文主要研究內容
第2章 電機絲杠驅動方法的研究
    2.1 電機絲杠驅動方案
    2.2 傳動誤差分析
        2.2.1 絲杠傳動誤差分析
        2.2.2 蝸輪蝸桿傳動誤差分析
        2.2.3 總傳動誤差分析
    2.3 爬行現(xiàn)象分析
        2.3.1 臨界爬行速度理論分析
        2.3.2 軟件仿真分析
    2.4 本章小結
第3章 液壓伺服驅動方法的研究
    3.1 液壓伺服驅動方案
    3.2 系統(tǒng)精度分析
    3.3 爬行現(xiàn)象分析
        3.3.1 臨界爬行速度理論分析
        3.3.2 軟件仿真分析
    3.4 本章小結
第4章 液壓缸精密單元驅動方法的研究
    4.1 液壓缸精密單元驅動方案
    4.2 傳動誤差分析
        4.2.1 絲杠傳動誤差分析
        4.2.2 齒輪傳動誤差分析
        4.2.3 總傳動誤差分析
    4.3 爬行現(xiàn)象分析
        4.3.1 主液壓缸部分爬行現(xiàn)象分析
        4.3.2 絲杠柱塞缸部分爬行現(xiàn)象分析
        4.3.3 軟件仿真分析
    4.4 本章小結
第5章 驅動特性的影響因素分析
    5.1 導向長度對驅動特性的影響
        5.1.1 導向長度對驅動精度的影響
        5.1.2 導向長度對爬行現(xiàn)象的影響
    5.2 驅動質量對驅動特性的影響
        5.2.1 驅動質量對驅動精度的影響
        5.2.2 驅動質量對爬行現(xiàn)象的影響
    5.3 驅動方向對驅動特性的影響
        5.3.1 驅動方向對驅動精度的影響
        5.3.2 驅動方向對爬行現(xiàn)象的影響
    5.4 本章小結
結論
參考文獻
攻讀碩士學位期間發(fā)表的論文及其他成果
致謝



本文編號：3796960